[实用新型]平面阴极齿轮齿条驱动挡板

说明书

本实用新型涉及一种平面阴极齿轮齿条驱动挡板，包括：安装板；旋转装置，设置在安装板的上方；导轨，设置在安装板的下方，通过支架与安装板固定；移动装置，设置在导轨上，与导轨形成滑动连接；挡板，设置在移动装置的下方，与移动装置固定；本实用新型的技术效果主要采用齿轮齿条的直线传动形式，驱动平面挡板，以此达到结构稳定，传动平稳，传动精确的目的，同时，能够满足多边形镀膜机的应用。

技术领域

本实用新型的实施例涉及一种真空镀膜机挡板，特别涉及一种平面阴极齿轮齿条驱动挡板。

背景技术

在现有的真空镀膜机中，由于真空镀膜机的一般都采用圆筒形结构，导致了真空镀膜机挡板为了适应真空镀膜机的外壳结构，将挡板制成半圆状；但是，采用了半圆状的真空镀膜机挡板，会导致在传动的精确上不稳定，开关闭合的精确低，以及由于挡板的结构不稳定，传动不平稳等因素影响下，其挡板传动会造成不精确。

实用新型内容

本实用新型的实施方式的目的在于提供一种平面阴极齿轮齿条驱动挡板，主要采用齿轮齿条的直线传动形式，驱动平面挡板，以此达到结构稳定，传动平稳，传动精确的目的，同时，能够满足多边形镀膜机的应用。

为了实现上述目的，本实用新型的实施方式设计了一种平面阴极齿轮齿条驱动挡板，其特征在于，包括：

安装板；

旋转装置，设置在所述的安装板的上方；

导轨，设置在所述的安装板的下方，通过支架与所述的安装板固定；

移动装置，设置在所述的导轨上，与所述的导轨形成滑动连接；

挡板，设置在所述的移动装置的下方，与所述的移动装置固定。

其中，所述的旋转装置，还包括：

旋转气缸，设在所述的旋转装置的上方；

传动装置，传动装置的一端与旋转气缸固定，传动装置的另一端固定在所述的安装板。

其中，所述的传动装置为水冷式旋转轴密封轴承座。

其中，所述的移动装置，还包括：

齿轮，固定在所述的旋转装置的传动轴上；与所述的旋转装置上的传动轴形成轴连接；

齿条，与齿轮啮合，形成齿轮齿条传动结构

滚轮架，固定在齿条上，与齿条固定连接；

滚轮，滚轮安装在所述的轨道上；所述的滚轮并列安装在滚轮架上；在所述的轨道上形成滚轮的滚动结构，并通过上下设置滚轮，与滚轮架形成滚动夹持结构。

其中，所述的滚轮上的滚槽呈梯形状，所述的轨道的表面同样呈梯形状，所述的滚槽的表面与所述的轨道的表面相互贴合。

其中，所述的挡板呈平面状结构，在所述的挡板的一侧设置若干条的隔条。

其中，所述的挡板的材料为不锈钢；所述的隔条的材料为铝。

其中，所述的旋转装置为电机。

其中，所述的传动装置的两侧设置进水管和出水管，分别连接冷却水的进口和出口。

其中，其特征在于，所述的平面阴极齿轮齿条驱动挡板用于多边形镀膜机。

本实用新型的实施方式同现有技术相比，能够实现利用旋转装置(旋转气缸或者电机)驱动移动装置(齿轮齿条)来驱动挡板，本实用新型中采用了齿轮齿条的直线传动形式，以此驱动平面挡板，以此达到结构稳定，传动平稳，传动精确的目的，同时，能够满足多边形镀膜机的应用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；