[实用新型]一种蒸镀机

说明书

本实用新型涉及OLED蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀机，包括坩埚和疏通装置；所述坩埚设有喷嘴；所述疏通装置包括伸缩机构和加热装置；所述伸缩机构的一端设有探针，所述加热装置为探针加热，所述伸缩机构驱动被加热后的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部。因为疏通装置设有伸缩机构和探针以及加热装置，并通过加热装置为探针加热，并通过伸缩机构控制被加热的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部从而对蒸镀口处聚集的蒸镀源材料进行疏通，且被加热后的探针还可以熔融清理蒸镀口边缘残留的蒸镀源材料，提高疏通效率。

技术领域

本实用新型涉及OLED蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀机。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，又称为有机电激光显示、有机发光半导体(Organic Electro luminescence Display，OLED)，是指有机半导体材料和发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光的现象。OLED显示屏比LCD更轻薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高、柔性好、发光效率高，能满足消费者对显示技术的新需求。OLED是一种利用多层有机薄膜结构产生电致发光的器件。蒸镀就是其中一道工序，即蒸镀源内装填材料，通过加热，使得材料升华逸出蒸镀源镀到基板上，不同有机材料蒸镀到基板上形成多层有机薄膜结构产生电致发光。然而现有的蒸镀机的在蒸镀过程中，蒸镀源内材料易在蒸镀口形成堵塞，影响镀率稳定，从而影响着结构的膜层厚度，进而影响器件的光电特性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种蒸镀机能够将蒸镀口堵塞的蒸镀源材料进行疏通，解决蒸镀口堵塞的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种蒸镀机，包括坩埚和疏通装置；

所述坩埚设有喷嘴；

所述疏通装置包括伸缩机构和加热装置；所述伸缩机构的一端设有探针，所述加热装置为探针加热，所述伸缩机构驱动被加热后的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部。

本实用新型的有益效果在于：提供一种蒸镀机，设置有疏通装置，疏通装置设有伸缩机构、加热装置以及与伸缩机构一端连接的探针，并通过加热装置为探针加热，并通过伸缩机构控制被加热的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部从而对蒸镀口处聚集的蒸镀源材料进行疏通，且被加热后的探针还可以熔融清理蒸镀口边缘残留的蒸镀源材料，整体上提升了疏通效率。

附图说明

图1为本实用新型一种蒸镀机的伸缩机构带动探针收缩时的示意图；

图2为本实用新型一种蒸镀机的伸缩机构带动探针伸出时的示意图；

图3为本实用新型一种蒸镀机置于腔体内时的俯视图；

标号说明：

1、蒸镀机；11、机体；12、坩埚；13、疏通装置；14、盖板；111、开口；121、喷嘴；131、伸缩机构；132、探针；133、电磁加热设备；

2、腔体；

3、基板。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1至图3，提供一种蒸镀机，包括坩埚和疏通装置；

所述坩埚设有喷嘴；

所述疏通装置包括伸缩机构和加热装置；所述伸缩机构的一端设有探针，所述加热装置为探针加热，所述伸缩机构驱动被加热后的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部。