[实用新型]一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机

权利要求书

1.一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的顶部安装有导料组件(2)，所述机架(1)的两侧安装有进料组件(22)，所述机架(1)的一侧安装有电控箱(10)，所述电控箱(10)电性连接导料组件(2)和进料组件(22)；

所述导料组件(2)包括底板(11)、导料滑轨(12)和出料传输带(13)，所述底板(11)固定在机架(1)的顶部，所述底板(11)的顶部一侧平行安装有八个导料滑轨(12)，所述导料滑轨(12)的一侧安装有八个平行分布的出料传输带(13)。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机，其特征在于：所述导料滑轨(12)包括轨道座(14)、旋转座(15)、导向轮(16)、旋转槽(17)、第一伺服电机(18)和第二伺服电机(19)，所述轨道座(14)等距离固定在底板(11)的一侧，所述轨道座(14)的顶部四个拐角位置处开设有旋转槽(17)，所述旋转槽(17)的底部内壁安装有第一伺服电机(18)，所述第一伺服电机(18)的输出端上安装有转动在旋转槽(17)内部的旋转座(15)，所述旋转座(15)的顶部转动连接有导向轮(16)，所述导向轮(16)的一端与旋转座(15)内部的第二伺服电机(19)连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机，其特征在于：所述旋转座(15)的底部四周等距离分布有四个红外接收器(20)，所述旋转槽(17)的底部内壁安装有与红外接收器(20)配合使用的红外发射器(21)，所述红外发射器(21)与红外接收器(20)通过信号连接，所述红外接收器(20)电性连接电控箱(10)的输入端，所述电控箱(10)的输出端电性连接第一伺服电机(18)和第二伺服电机(19)。

4.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机，其特征在于：所述导向轮(16)的顶部与出料传输带(13)的顶部齐平。

5.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机，其特征在于：所述进料组件(22)包括进料框架(3)、篮具进料传输带(4)、转运气缸(5)、篮具卸料传输带(6)、转运架(7)、推料气缸(8)和推料板(9)，所述进料框架(3)固定在机架(1)的两端，所述进料框架(3)的底部一侧安装有篮具进料传输带(4)，所述篮具进料传输带(4)的正上方安装有篮具卸料传输带(6)，所述篮具进料传输带(4)的一侧通过转运气缸(5)固定有转运架(7)，所述进料框架(3)的外壁安装有与导料组件(2)齐平的推料气缸(8)，所述推料气缸(8)的伸缩端上安装有推料板(9)。