[实用新型]硅棒加工设备

权利要求书

1.一种硅棒加工设备，其特征在于，包括：

机座，具有硅棒加工平台；所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位；

至少一第一硅棒夹具，设于所述第一加工区位，用于夹持硅棒并带动所夹持的硅棒沿第一方向移动；其中，所述第一方向平行于硅棒轴线方向；

至少一第二硅棒夹具，设于所述第二加工区位，用于夹持硅棒并带动所夹持的硅棒沿第一方向移动；

切割装置，用于对所述硅棒加工平台的第一加工区位或第二加工区位上的硅棒进行切割，以形成切割后硅棒；

研磨装置，用于对所述硅棒加工平台的第二加工区位或第一加工区位上的切割后硅棒进行研磨；

第一转换机构，与切割装置和研磨装置连接，用于驱动切割装置和研磨装置在第一加工区位和第二加工区位之间转换位置。

2.根据权利要求1所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述第一转换机构包括第一转轴，驱动所述第一转轴转动预设角度以使得所述切割装置和所述研磨装置在第一加工区位和第二加工区位之间转换位置。

3.根据权利要求2所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述第一转轴设于重垂线方向，所述第一加工区位与第二加工区位设于第二方向的相对两侧；其中，所述第一方向、第二方向、以及重垂线方向两两垂直。

4.根据权利要求2所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述第一转换机构还包括用于驱动所述切割装置及研磨装置转动的转动驱动机构，所述转动驱动机构包括：

主动齿轮，轴接于动力驱动源；

从动齿轮，啮合于所述主动齿轮且连接于所述第一转轴。

5.根据权利要求1所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述切割装置包括：

切割架；

至少一线切割单元，设于所述切割架，所述线切割单元包括：多个切割轮、过渡轮、以及切割线，所述切割线绕于所述多个切割轮及过渡轮以形成至少一切割线锯。

6.根据权利要求5所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述线切割单元包括：

切割线；

第一切割轮及第二切割轮，设于所述切割架，切割线绕于所述第一切割轮及第二切割轮以形成切割线锯；其中，所述第一切割轮的轮面与第二切割轮的轮面相平行或共面；

第一过渡轮，邻设于所述第一切割轮，在牵引切割线的状态下令第一切割轮与第一过渡轮的切割线位于第一切割轮中用于缠绕切割线的第一切割线槽所在平面内；

第二过渡轮，邻设于所述第二切割轮，在牵引切割线的状态下令第二切割轮与第二过渡轮的切割线位于第二切割轮中用于缠绕切割线的第二切割线槽所在平面内；

至少一第三过渡轮，设于所述第一过渡轮及第二过渡轮之间，用于牵引所述第一过渡轮与所述第二过渡轮之间的切割线，以令所述线切割单元中形成一切割容纳空间，所述切割容纳空间可容纳待切割硅棒且所述切割装置中仅有所述切割线锯与所述切割容纳空间相交。

7.根据权利要求6所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述第一过渡轮、第二过渡轮、及至少一第三过渡轮用于将所述切割线牵引远离所述切割容纳空间。

8.根据权利要求6所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述切割线绕于所述第一切割轮、第二切割轮、第一过渡轮、第二过渡轮及第三过渡轮之间以形成首尾相接的闭环切割线。

9.根据权利要求8所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述线切割单元中包括两个第三过渡轮，其中，所述切割线顺次缠绕于所述第一切割轮、第二切割轮、第二过渡轮、一第三过渡轮、另一第三过渡轮、第一过渡轮、第一切割轮以形成首尾相接的闭环切割线。

10.根据权利要求6所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述切割装置还包括切割线驱动装置，用于驱动所述切割线运行以对硅棒进行切割。

11.根据权利要求10所述的硅棒加工设备，其特征在于，所述切割线驱动装置为电机，具有动力输出轴且所述动力输出轴轴连接于所述第一切割轮或第二切割轮。