[实用新型]一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构

权利要求书

1.一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：包括主轴外套，其套设在主轴芯轴外侧，用于对主轴芯轴进行支撑；

密封静环一，其固定在主轴外套靠近主轴芯轴端部的一侧，密封静环一上开设有密封静环一供气孔；

以及密封动环，其固定在主轴芯轴上；

密封动环与密封静环一相互靠近的一侧形成第一气幕间隙，第一气幕间隙与外界连通并且气幕间隙与密封静环一供气孔相互连通。

2.根据权利要求1所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：所述密封静环一包括主体部，其固定在主轴外套上；

台阶部，其位于主体部靠近零部件安装空间一侧，且台阶部朝向靠近主轴芯轴的方向凸起，台阶部与密封动环之间形成第一动静环间隙；

密封动环外侧固定有设置在台阶部背离零部件安装空间一侧的密封部，第一气幕间隙位于密封部和主体部之间，第一密封间隙与第一动静环间隙相互连通。

3.根据权利要求2所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：还包括密封静环二，密封静环二位于台阶部和密封部之间，密封静环二靠近主体部一侧与主体部之间形成第二气幕间隙，第二气幕间隙与第一气幕间隙相连通；

密封静环二与密封部之间形成第二动静环间隙，第二动静环间隙与第一气幕间隙直接连通，第二气幕间隙与密封静环一供气孔直接连通。

4.根据权利要求3所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：所述第二动静环间隙与第二气幕间隙之间的夹角为锐角。

5.根据权利要求3所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：所述第二动静环间隙沿主轴芯轴轴线方向的截面呈弧形设置，且弧形朝向靠近密封静环二的方向凸起。

6.根据权利要求3所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：所述密封静环二靠近主体部的一侧开设有匀气槽，匀气槽为环形槽且与第二气幕间隙直接连通。

7.根据权利要求2－6任一权利要求所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：所述台阶部上开设有用于将污染杂质排出第一动静环间隙的静环一排污孔，第一动静环间隙与静环一排污孔相互连通；所述台阶部与密封动环之间设置有排污腔，排污腔为环形腔，排污腔与第一动静环间隙和静环一排污孔相互连通。

8.根据权利要求3所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：所述密封静环一和密封静环二为一体或分体，当密封静环一和密封静环二为分体时，密封静环一和密封静环二的相对位置固定。

9.根据权利要求1所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：所述密封动环和所述主轴芯轴为一体或分体，当密封动环和主轴芯轴为分体时，密封动环和主轴芯轴的相对位置固定。

10.根据权利要求1所述的一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，其特征在于：还包括法兰，其设置在主轴外套与密封静环一之间，法兰固定在主轴外套上，密封静环一与法兰为一体或分体，当密封静环一与法兰位分体时，密封静环一和法兰的相对位置固定。