[实用新型]一种高效率三倍频的紫外激光器

权利要求书

1.一种高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于，包括：准直输出基频红外光的基频红外光输出部，分别准直输出功率比约为1：2的基频红外光和倍频绿光倍频系统，以及直输出三倍频紫外光的三倍频紫外光系统，所述基频红外光输出部、倍频系统以及三倍频紫外光系统依次同轴设置；其中，

所述倍频系统包括第一偏振合束器、第一半波片、倍频晶体、第一双色镜、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、第二半波片以及第三反射镜，所述基频红外光输出部、第一偏振合束器、第一半波片、倍频晶体、第一双色镜以及分光镜依次同轴设置，所述第一反射镜平行设置在所述第一双色镜的下方，所述第二反射镜设置在所述分光镜的下方，所述第二反射镜、第二半波片以及第三反射镜依次同轴设置，且所述第三反射镜位于所述第一偏振合束器的下方；

所述三倍频紫外光系统包括第二偏振合束器、第三半波片、第二双色镜、三倍频晶体、第四反射镜、第三双色镜、第四双色镜、第五反射镜、第三偏振合束器、第四半波片、第六反射镜、第五半波片、第七反射镜、第六半波片、第八反射镜，所述第二偏振合束器、第三半波片、第二双色镜、三倍频晶体、第四反射镜依次同轴设置，所述第四反射镜、第三双色镜、第四双色镜以及第八反射镜由上至下依次同轴设置，所述第五半波片、第三偏振合束器、第四半波片以及第六反射镜依次同轴设置，所述第二偏振合束器与所述分光镜位置对应，所述第五半波片与所述第一反射镜位置对应，所述第六反射镜平行设置在所述第二双色镜的下方，所述第五反射镜设置在所述第三偏振合束器的下方，且所述第五反射镜与所述第四双色镜位置对应。

2.根据权利要求1所述的高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于：所述基频红外光输出部输出的基频红外光部份为1064nm光、1053nm光中的一种。

3.根据权利要求1所述的高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于：所述绿光为532nm光、527nm光中的一种。

4.根据权利要求1所述的高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于：所述第一偏振合束器、第二偏振合束器以及第三偏振合束器为偏振分光片、偏振分光棱镜中的一种。

5.根据权利要求1所述的高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于：所述第一双色镜、第二双色镜、第三双色镜以及第四双色镜为二向色分光镜、直角分光棱镜中的一种；且所述第二双色镜、第三双色镜以及第四双色镜反射355nm光并透射1064nm光、532nm光。

6.根据权利要求1所述的高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于：所述倍频晶体为将1064nm倍频至532nm的非线性晶体；所述倍频晶体为LBO晶体或者BBO晶体、KTP晶体中的一种。

7.根据权利要求1所述的高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于：所述三倍频晶体为将1064nm及532nm三倍频至355nm的非线性晶体；所述三倍频晶体为LBO晶体或者BBO晶体、KDP晶体中的一种。