[实用新型]一种用于真空贯穿的柔性装置

说明书

本实用新型公开了一种用于真空贯穿的柔性装置，包括防护筒和设置在防护筒内部的波纹管，波纹管的一侧焊接有法兰，波纹管的另一侧焊接法兰盖，波纹管的通道内穿过有贯穿组件，法兰焊接在防护筒内侧壁，法兰盖焊接在防护筒的外侧端口。整体结构简单，可实现贯穿组件与真空腔体的密封性，保证贯穿组件的独立真空；贯穿组件高温变形时管道的伸缩性，保证贯穿管道微位移的需求；贯穿组件在微位移时的导向性，保证特定技术要求及焊接波纹管的寿命；贯穿组件与真空腔体之间的隔振性能，保证贯穿组件作为光学平台的必要条件；提供了在真空系统中的多种应用，充分体现了小成本大价值的理念。

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，具体来说，涉及一种用于真空贯穿的柔性装置。

背景技术

在真空系统中，与真空腔体常规的连接部件，基本上是泵类、阀类、管道法兰类或电气接头类等，这些都是通过刀口法兰或胶圈法兰与其相连，基本上是刚性对接结构；

而在实际真空应用中，大多数情况需要不仅采用真空腔体贯穿结构，而且需要柔性贯穿，与相比刚性对接结构要复杂，贯穿装配方式也要考虑贯穿组件的具体情况，如安装维修，密封性能，变形补偿可靠安全等一些问题。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出一种用于真空贯穿的柔性装置，能够克服现有技术的上述不足。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：一种用于真空贯穿的柔性装置，包括防护筒和设置在防护筒内部的波纹管，所述波纹管的一侧焊接有法兰，所述波纹管的另一侧焊接法兰盖，所述波纹管的通道内穿过有贯穿组件，所述法兰焊接在所述防护筒内侧壁，所述法兰盖焊接在所述防护筒的外侧端口。

进一步地，所述防护筒、波纹管、法兰、法兰盖及贯穿组件均为不锈钢材质。

进一步地，所述波纹管与所述防护筒的内侧壁设有间隙。

进一步地，所述波纹管的外表面设有均匀分布的纹理。

进一步地，所述贯穿组件的外侧壁与所述法兰和法兰盖的内侧孔焊接。

本实用新型的有益效果：整体结构简单，可实现贯穿组件与真空腔体的密封性，保证贯穿组件的独立真空；贯穿组件高温变形时管道的伸缩性，保证贯穿管道微位移的需求；贯穿组件在微位移时的导向性，保证特定技术要求及焊接波纹管的寿命；贯穿组件与真空腔体之间的隔振性能，保证贯穿组件作为光学平台的必要条件；提供了在真空系统中的多种应用，充分体现了小成本大价值的理念。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例所述的一种用于真空贯穿的柔性装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例所述的种用于真空贯穿的柔性装置的安装示意图。

图中：1、防护筒；2、波纹管；3、法兰；4、法兰盖；5、贯穿组件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。