[实用新型]一种微细工具电极在线制备系统

权利要求书

1.一种微细工具电极在线制备系统，包括机架(3)，其特征在于，还包括沿x轴向和/或y轴向运动的WEDG模块(1)、沿z轴向运动的主轴模块(2)，WEDG模块(1)、主轴模块(2)均设于机架(3)上；

所述WEDG模块(1)包括修丝导向块(101)、修丝电极(102)，修丝导向块(101)固定于WEDG模块(1)上，修丝电极(102)被WEDG模块(1)上的各处导轮张紧并绕经修丝导向块(101)的尖端；所述主轴模块(2)上固定有待修微细工具电极(201)。

2.如权利要求1所述的微细工具电极在线制备系统，其特征在于，所述WEDG模块(1)上设有动力轮和若干导轮，修丝电极(102)绕经动力轮和导轮并水平绕过修丝导向块(101)的尖端。

3.如权利要求1所述的微细工具电极在线制备系统，其特征在于，待修微细工具电极(201)一端没入主轴模块(2)内部，另一端指向修丝导向块(101)尖端。

4.如权利要求1所述的微细工具电极在线制备系统，其特征在于，主轴模块(2)对刀时，修丝电极(102)与待修微细工具电极(201)相接触。

5.如权利要求1所述的微细工具电极在线制备系统，其特征在于，主轴模块(2)对刀结束时，修丝电极(102)与待修微细工具电极(201)间距设置。

6.如权利要求1所述的微细工具电极在线制备系统，其特征在于，粗修时，主轴模块(2)所转动的水平等分角度为360°圆周的1/n，且n为正整数。