[实用新型]一种介质阻挡放电等离子体反应器

说明书

本实用新型公开了一种介质阻挡放电等离子体反应器，属于低温等离子体应用技术领域，包括具有进气端口和出气端口的主体腔室以及一对放电电极，一对放电电极由相对的设置的两个平板电极组成，两个平板电极分别位于主体腔室的上下两端，所述平板电极与主体腔室之间形成有气冷室，所述气冷室四周由绝缘板围设而成；平板电极的内侧表面均固定设置有平板介质阻挡层，所述平板电极内设置有冷却水流道。本实用新型能够有效降低反应器整体的温度，进而有效降低能耗。

技术领域

本实用新型属于低温等离子体应用技术领域，具体涉及一种介质阻挡放电等离子体反应器。

背景技术

介质阻挡放电是一种有绝缘介质插入放电空间的气体放电形式，贯穿两电极的放电通道被气隙中的绝缘介质阻挡，从而在通道中产生大面积、高能量密度的低温等离子体。介质阻挡放电作为大气压条件下产生低温(非平衡态)等离子体的一种可靠的方法，被广泛应用于臭氧合成、真空紫外光源、材料表面处理和环境保护等领域，介质阻挡放电可实现大面积均匀放电，可以充分使有机物分子、水分子、氧气分子产生电离，从而激发出更多活性物种，且较其他产生低温等离子体的放电方法安全性更高、电极寿命更长和平均电子能量更高等优点。

目前，介质阻挡放电发生器在实际应用中会发热，一定程度上消耗了部分电源的能量，减少了用于产生低温等离子体的介质阻挡放电的能量供给，使得等离子体生成的浓度低。为此，我们提供一种介质阻挡放电等离子体反应器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种介质阻挡放电等离子体反应器，它能够降低介质阻挡放电等离子体反应器的整体温度，有效降低介质阻挡放电等离子体反应器的能耗，从而在降低能耗的情况下提高介质阻挡放电等离子体反应器的等离子体生成浓度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种介质阻挡放电等离子体反应器，包括具有进气端口和出气端口的主体腔室以及一对放电电极，其特征在于：一对放电电极由相对的设置的两个平板电极组成，两个平板电极分别位于主体腔室的上下两端，所述平板电极与主体腔室之间形成有气冷室，所述气冷室四周由绝缘板围设而成；平板电极的内侧表面均固定设置有平板介质阻挡层，所述平板电极内设置有冷却水流道。

进一步的，所述冷却水流道为蛇形。

进一步的，所述冷却水流道一端设置为进水口，所述冷却水流道另一端设置为出水口。

进一步的，所述绝缘板由环氧树脂或聚四氟乙烯制成。

进一步的，所述主体腔室外端面设置有连通气冷室的通气孔，主体腔室外端面设置有向气冷室吹气的散热扇。

进一步的，一对放电电极由高压交流电源驱动。

进一步的，所述平板介质阻挡层之间形成有放电通道，所述进气端口与所述出气端口通过放电通道连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置冷却水流道以及气冷室，能够有效降低等离子体反应器的温度。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的平板电极的结构示意图。

图中：1-主体腔室，2-平板电极，3-平板介质阻挡层，4-绝缘板，5-冷却水流道，6-进水口，7-出水口，8-通气孔，9-气冷室，10-放电通道，11-进气端口，12-出气端口，13-高压交流电源，14-散热扇。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。