[实用新型]一种全自动清洗高精度玻璃管浮子流量计装置

说明书

本实用新型涉及晶体加工设备，气体检测和气体测量设备，具体涉及一种全自动清洗高精度玻璃管浮子流量计装置。包括双向水泵、电磁阀和水槽；水槽内设有多层过滤棉，水槽的进水口、出水口和双向水泵通过水管与玻璃管浮子玻璃管浮子流量计进出气口串联成回路；电气控制主机箱还与双向水泵相连。本装置能在不拆卸和拆解高精度玻璃管浮子流量计的情况下清洗高精度玻璃管浮子流量计内部的挥发物以及粉尘，并且极大提高了清洗洁净程度。

技术领域

本实用新型涉及晶体加工设备，气体检测和气体测量设备，具体涉及一种全自动清洗高精度玻璃管浮子流量计装置。

背景技术

晶体生长设备在生产过程一般采用充满惰性气体的不锈钢密封的炉体，流量计处于晶体生长设备的低端低温废气的气体排出区。在晶体生长的高温过程中，炉内存在大量的挥发物和挥发气体，遇到低温的炉壁发生凝结。单个轮次生长过程中，炉壁会残留非常多的挥发物和漂浮在炉内的漂浮挥发物会随着废气排出炉体，在排出气体时挥

发物和废气会经过高精度玻璃管浮子流量计，每一个生长周期排出的废气夹杂的挥发物会沾满玻璃高精度流量计的内壁从而影响出气量就需要清理，以免影响下炉晶体的生长。

但是，由于高精度玻璃管浮子流量计拆卸比较复杂并且都安装于机器内部，人工拆解清理费时费力并且不能保证安装回去的玻璃管浮子流量计的密封性和高精度以及它的可靠性。容易导致晶体生长过程中炉内气体压力不稳，晶体在熔体中生长由于压力的不稳，从而造成晶体生长失败。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种全自动清洗高精度玻璃管浮子流量计装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种全自动清洗高精度玻璃管浮子流量计装置，包括双向水泵、电磁阀和水槽；

水槽内设有多层过滤棉，水槽的进水口、出水口和双向水泵通过水管与玻璃管浮子玻璃管浮子流量计进出气口串联成回路；电气控制主机箱还与双向水泵相连。

作为一种改进，双向水泵为微型双向直流水泵。

作为一种改进，水槽进出水口、玻璃管浮子流量计进出气口与双向水泵间通过单一管路或多个并联的支路相连，当通过支路相连时每根支路上均设有电磁阀，电磁阀的开闭通过电气控制主机箱控制。

作为一种改进，电磁阀为微型截止电磁阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本装置能在不拆卸和拆解高精度玻璃管浮子流量计的情况下清洗高精度玻璃管浮子流量计内部的挥发物以及粉尘，并且极大提高了清洗洁净程度。和高精度玻璃管浮子流量计的高精度和密封性，且整个清洗过程能够在设定顺序下自动完成，既能保证清洗效率，又能保证清洗质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的原理图。

图中附图标记：1-V3微型截止电磁阀；2-水槽；3-多层过滤棉；4-进水口；5- 出水口；6-V1微型截止电磁阀；7-V4微型截止电磁阀；8-V6微型截止电磁阀；9-微型双向直流水泵；10-V2微型截止电磁阀；11-V5微型截止电磁阀；12-高精度玻璃管浮子流量计；13-高精度玻璃管浮子流量计浮子；14-电源按钮；15-启动按钮；16-电气控制主机箱；17-水泵清洗液进口；18-水泵清洗液出口；19-清洗流量计的第一水管快速接口；20-清洗流量计的第二水管快速接口。

具体实施方式

下面结合附图1-2与具体实施方式，对本实用新型的具体实现方式进行详细描述。

一种全自动清洗高精度玻璃管浮子流量计装置，包括双向水泵、电磁阀和水槽2。