[实用新型]一种粉末镀膜装置

说明书

本实用新型涉及原子层沉积技术领域，尤其是指一种粉末镀膜装置，包括粉末样品真空腔、抽气机构、加热器、物料瓶以及吹气机构，所述抽气机构用于对粉末样品真空腔抽气，所述加热器用于为粉末样品真空腔加热，所述物料瓶用于向粉末样品真空腔内提供镀膜的原料，所述吹气机构与粉末样品真空腔连通并且用于为粉末样品真空腔内提供流动气体。本实用新型提供的一种粉末镀膜装置，通过吹气机构对粉末样品真空腔内吹入流动气体，将粉末吹散，从而防止粉末团聚，进而可以使粉末表面均匀镀膜。

技术领域

本实用新型涉及原子层沉积技术领域，尤其是指一种粉末镀膜装置。

背景技术

原子层沉积技术是一种利用反应气体在材料表面交替饱和自吸附并发生化学反应生成目标物质的气相化学气相沉积技术。到目前为止，原子层沉积方法是唯一可以在大的表面积材料表面均匀镀膜且在原子尺度精确控制膜厚的技术，但这些应用多是应用于块体材料或平面型材料。而粉末材料，由于其自身容易出现相互接触、团聚等现象，所以常规的原子层沉积方法也很难在其表面均匀镀膜，现有技术中采用在粉末镀膜的腔体内安装一个搅拌装置，通过搅拌装置来防止粉末团聚，但是这种结构复杂、安装麻烦，并且搅拌装置容易损坏，经常需要进行维修。

发明内容

本实用新型针对现有技术的问题提供一种粉末镀膜装置，通过吹气机构对粉末样品真空腔内吹入流动气体，将粉末吹散，从而防止粉末团聚，进而可以使粉末表面均匀镀膜。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种粉末镀膜装置，包括粉末样品真空腔、抽气机构、加热器、物料瓶以及吹气机构，所述抽气机构用于对粉末样品真空腔抽气，所述加热器用于为粉末样品真空腔加热，所述物料瓶用于向粉末样品真空腔内提供镀膜的原料，所述吹气机构与粉末样品真空腔连通并且用于为粉末样品真空腔内提供流动气体。

优选的，所述吹气机构包括载气单元以及吹气管，所述吹气管与所述粉末样品真空腔连通，所述载气单元用于持续将流动气体通过吹气管吹入粉末样品真空腔内；所述物料瓶与所述吹气管连通。

优选的，所述物料瓶与所述吹气管之间装设有原子层沉积隔膜阀。

优选的，所述粉末镀膜装置还包括震动机构，所述震动机构用于使粉末样品真空腔振动。

优选的，所述粉末镀膜装置还包括保护管，所述粉末样品真空腔装设于保护管内，所述保护管的一端与所述吹气机构连接，保护管的另一端装设有密封单元，所述密封单元与用于将保护管密封设置，保护管的另一端与所述粉末样品真空腔的出气口之间形成气腔，所述抽气机构包括抽气泵以及抽气管，所述抽气管与所述气腔连通。

优选的，所述气腔内装设有弹性件，所述弹性件的两端分别与所述粉末样品真空腔和保护管的内壁抵触。

优选的，所述气腔内装设有隔热层。

优选的，所述粉末样品真空腔的出口和入口处均装设有过滤件，所述过滤件用于防止粉末样品真空腔中的粉末流出，所述吹气机构产生的流动气体先通过所述过滤件后再进入粉末样品真空腔。

优选的，所述粉末样品真空腔的入口外壁和出口外壁均套接有限位管，所述限位管凸设有挡圈，所述过滤件装设于所述挡圈和粉末样品真空腔之间。

优选的，所述粉末样品真空腔的腔壁采用石英管制成，所述保护管装设有若干观察单元，所述观察单元包括观察管道以及装设于观察管道的一端的观察窗口，所述观察管道的另一端与所述保护管连通。本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的一种粉末镀膜装置，抽气机构使粉末样品真空腔产生负压，将物料瓶内的原料吸进粉末样品真空腔中，再通过加热器对粉末样品真空腔进行加热，使原料在粉末表面反应进行镀膜，镀膜期间，通过吹气机构持续向粉末样品真空腔中吹入流动的气体，可以防止粉末团聚，进而可以在粉末表面均匀的镀膜。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图一。