[实用新型]一种阀门加热器

说明书

本实用新型涉及管道设计技术领域，尤其是指一种阀门加热器，包括加热管身、反应装置以及阀门，所述阀门与所述反应装置连接，所述加热管身开设有用于装配阀门的通孔，所述通孔的内壁与所述阀门的外周贴合，所述加热管身内设置有用于装配所述反应装置的通道，所述加热管身用于为所述反应装置加热。本实用新型提供的一种阀门加热器，在阀门处的温度不易降低，从而避免为反应装置加热不均匀的情况，并且加热管身也不易受损。

技术领域

本实用新型涉及管道设计技术领域，尤其是指一种阀门加热器。

背景技术

在原子层沉积技术中，常用的前驱体的加热管路是在反应装置的外部直接包裹加热层，该加热层是直接将加热丝设置在铝箔泡沫纸类里面设置而成，再在加热层上开孔安装阀门，在开孔处，由于加热层与阀门的接触不够紧密，所以在开孔处的温度容易降低，导致整个加热管路加热不均匀的问题，并且，加热丝容易损坏，而该加热层不便于维修，通常只能选择整个更换。

发明内容

本实用新型针对现有技术的问题提供一种阀门加热器，采用加热管身来为反应装置加热，并且通孔的内壁与阀门能够贴合，防止加热不均匀的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种阀门加热器，包括加热管身、反应装置以及阀门，所述阀门与所述反应装置连接，所述加热管身开设有用于装配阀门的通孔，所述通孔的内壁与所述阀门的外周贴合，所述加热管身内设置有用于装配所述反应装置的通道，所述加热管身用于为所述反应装置加热。

优选的，所述阀门加热器还包括半圆筒型硅胶铝板，所述半圆筒型硅胶铝板套设于所述加热管身的外周，并且所述半圆筒型硅胶铝板与加热管身之间设有空气热阻隔层。

优选的，所述半圆筒型硅胶铝板的外壁贴合有硅胶隔热垫。

优选的，所述加热管身包括第一管身以及与第一管身可拆卸连接的第二管身，所述第一管身与所述第二管身连接后形成所述通道；所述第一管身的管壁设置有第一半孔，所述第二管身的管壁设置有第二半孔，所述第一半孔与所述第二半孔配合形成所述通孔。

优选的，所述第一管身开设有若干第一加热通道，所述第二管身开设有若干第二加热通道，所述第一加热通道和第二加热通道内均装设有加热件。

优选的，所述通道的内壁与所述反应装置的外壁贴合。

优选的，所述通道内壁设置有限位圈，所述限位圈与所述反应装置抵触。

优选的，所述加热管身采用铝材制成。

优选的，所述阀门加热器连接有反应器，所述反应器包括第三管身，所述第三管身内装设有反应原装置，所述反应原装置与所述反应装置连接，所述第三管身用于为所述反应器加热。

优选的，所述第三管身为铝材制成。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的一种阀门加热器，将反应装置安装在加热管身的通道内，阀门安装在通孔处，并且阀门与通孔的内壁贴合，所以在加热管身为反应装置加热，在阀门处的温度也不易降低，从而避免为反应装置加热不均匀的情况，并且加热管身也不易受损。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型隐藏第一管身后的结构示意图。

图3为本实用新型的隐藏反应装置后的结构示意图。

图4为图3的俯视图。

图5为本实用新型的加热管身的分解结构示意图。

图6为本实用新型与反应器配合的结构示意图。

在图1至图6中的附图标记包括：