[实用新型]一种用于沟齿面粗糙度测量的治具

说明书

本实用新型公开了一种用于沟齿面粗糙度测量的治具，包括沟棒固定架和沟棒夹板，所述沟棒固定架包括沟棒固定板，所述沟棒固定板上安装有调节螺栓，所述调节螺栓位于所述沟棒固定板和所述沟棒夹板之间，所述沟棒夹板上安装有与所述调节螺栓适配安装的调节螺母，所述沟棒夹板上还设有用于安装所述调节螺母的螺母限位槽，通过拧动所述调节螺栓，可以使所述沟棒夹板移动并夹紧所述沟棒，从而可以直接对沟棒进行粗糙度测量，解决了现有技术中，通过测量相同加工工艺条件下的样块，间接评估齿面粗糙度和状态，导致测量结果不够准确的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体硅材料制造技术领域，尤其是涉及一种用于沟齿面粗糙度测量的治具。

背景技术

硅片是现代超大规模集成电路的主要衬底材料，一般通过拉晶、切片、倒角、磨片、腐蚀、背封、抛光、清洗等工艺过程做成的集成电路级半导体硅片。半导体器件或电路加工过程中需要一种装晶圆的载体，特别是在芯片热处理工序中，晶圆要随载体一起进入高温炉中进行处理，这种载体在业内被称作晶舟。现在市面上普遍应用于的晶舟是采用高纯度的石英、碳化硅或多晶硅制作，其中多晶硅制作的晶舟成为硅舟。

立式硅舟由天板、法兰和若干数量的沟棒构成，其中沟棒一侧设有较多数量的沟齿，不同沟棒上同一平面上的沟齿构成晶圆的承载面，用来在芯片制程中对晶圆起到支撑和稳定作用。

由于沟齿面和晶圆在制程中直接接触，必须保证二者接触部位的粗糙度达到一定要求，因此在硅舟制造过程中，需要对沟齿面的粗糙度进行测量，而常见的粗糙度是通过电感触针式粗糙度仪测试，触针垂直于工件表面，并在其表面上滑动，触针随着粗糙表面的起伏而上下移动，通过传感器和数模转换得到粗糙度轮廓曲线，通过统计学计算得到粗糙度值。

当沟棒水平固定，放置在粗糙度仪测试台上时，沟齿面垂直于测量平台，触针无法对沟齿面进行测量。因此沟棒只能垂直于测量平台，从而使沟齿表面测到测量。由于沟棒长度较长，垂直放置较难保持沟齿面的水平，而且人工手持沟棒，无法保证粗糙度测量时的稳定性，会造成测试数据失真。

目前大多数是通过测量相同加工工艺条件下的样块，间接评估齿面粗糙度和状态，但是该方法只能粗略的评估，测试数据缺少准确性和依据性，并且测试效率低下。因此需要设计一种治具来实现硅舟沟棒沟齿面粗糙度的高效和准确测量。

发明内容

本实用新型克服了硅舟沟棒沟齿面粗糙度无法直接测量的问题，设计了一种可用于沟齿面粗糙度测量的治具，此治具可以将沟棒竖直放置并固定，从而使测量平台直接对沟棒沟齿面进行测量，保证了粗糙度测量数据的准确性，操作方便，并且可以用于多种不同尺寸的沟棒，具有更好的适应性。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型，一种用于沟齿面粗糙度测量的治具，包括沟棒固定架和沟棒夹板，所述沟棒固定架包括沟棒固定板，所述沟棒固定板上安装有调节螺栓，所述调节螺栓位于所述沟棒固定板和所述沟棒夹板之间，所述沟棒夹板上安装有与所述调节螺栓适配安装的调节螺母，所述沟棒夹板上还设有用于安装所述调节螺母的螺母限位槽。

当拧动沟棒固定板上的调节螺栓时，可以使调节螺栓相对沟棒固定板发生移动，由于调节螺母被安装在调节螺栓上，调节螺母也会一同相对沟棒固定板移动，由于调节螺母被限位在螺母限位槽中，当其移动时会带动沟棒夹板一同移动，从而调节沟棒夹板与沟棒固定板之间的距离，从而实现对不同粗细的沟棒进行夹紧固定，通过本治具，不用根据不同沟棒不同位置去做样块，可直接在沟棒任何位置进行测量，对评估整个沟棒齿面粗糙度提供准确性。