[实用新型]一种超纯水制备装置

说明书

本实用新型提出了一种超纯水制备装置，包括通过连接管依次连接的原水箱、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软化水装置、一级精密过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级反渗透储水箱、二级高压泵、二级反渗透装置、二级反渗透储水箱、EDI进水泵、二级精密过滤器、EDI设备、纯水箱、供水泵、抛光混床和微孔膜过滤器。本实用新型出水经过抛光混床后，出水电阻率就可以稳定达到16MΩ*cm(25℃)，出水电阻率低且稳定，本实用新型全自动化控制，不需专人看管，设备成本、运行成本和有效去除离子方面的综合经济指标最优。

技术领域

本实用新型涉及水处理装置，特别涉及一种超纯水制备装置。

背景技术

超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

但是现有的超纯水制备设备制备，存在出水电阻率仍不够低、出水电阻率不够稳定、以及设备和运行成本高的问题。

实用新型内容

本实用新型提出了一种超纯水制备装置，解决了现有技术中超纯水制备存在出水电阻率仍不够低、出水电阻率不够稳定、以及设备和运行成本高的的缺陷。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种超纯水制备装置，包括通过连接管依次连接的原水箱、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软化水装置、一级精密过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级反渗透储水箱、二级高压泵、二级反渗透装置、二级反渗透储水箱、EDI进水泵、二级精密过滤器、EDI设备、纯水箱、供水泵、抛光混床和微孔膜过滤器。

进一步，所述连接管包括UPVC管和/或不锈钢管。

进一步，所述多介质过滤器中的滤料为石英砂、无烟煤、磁铁矿、石榴石、多孔陶瓷和塑料球中的一种或多种。

进一步，所述软化水装置为软化树脂过滤器。

进一步，所述微孔膜过滤器包括外筒体和设置在外筒体内的折叠式膜滤芯。

本实用新型的有益效果：本实用新型出水经过抛光混床后，出水电阻率就可以稳定达到16MΩ*cm(25℃)，出水电阻率低且稳定，本实用新型全自动化控制，不需专人看管，设备成本、运行成本和有效去除离子方面的综合经济指标最优。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构框图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1，一种超纯水制备装置，其特征在于：包括通过连接管依次连接的原水箱、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软化水装置、一级精密过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级反渗透储水箱、二级高压泵、二级反渗透装置、二级反渗透储水箱、EDI进水泵、二级精密过滤器、 EDI设备、纯水箱、供水泵、抛光混床和微孔膜过滤器。