[实用新型]一种滤波器

说明书

本申请公开了一种滤波器，包括多个级联的SAW谐振器；每个所述SAW谐振器包括由下至上层叠的θ旋转Y切割的压电衬底和电极，所述θ旋转Y切割的压电衬底的定位边与声波传播方向的夹角为锐角。可见，本申请滤波器中的SAW谐振器的θ旋转Y切割的压电衬底的定位边与声波传播方向的夹角为锐角，由于电极与声波传播方向垂直，也即电极与定位边的夹角为与定位边与声波传播方向的夹角互余的锐角，使得滤波器在使用过程时SAW谐振器可以与焊盘以更短的引线进行互联，从而降低由引线引入的耦合，增强滤波器的性能，并且可以有效利用电极以外的区域设置焊盘，有效缩小滤波器的面积，降低成本，同时减小滤波器的体积。

技术领域

本申请涉及微机电系统领域，特别是涉及一种滤波器。

背景技术

声波谐振器是组成声波滤波器的基本结构，声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)谐振器是声波谐振器的一种，SAW谐振器利用电极进行电能和声能的相互转换。

请参见图1和图2，现有的SAW谐振器中的压电衬底一般为θ旋转Y切割的衬底，即Y轴与衬底表面有特定的旋转角θ，声波沿X轴方向传播，电极与声波传播方向垂直，衬底的定位边与X轴方向垂直，即定位边与声波传播方向垂直。由SAW谐振器组成的滤波器的示意图如图3所示，由于SAW谐振器压电衬底为定位边与声波传播方向垂直的衬底，导致滤波器在使用时焊盘与SAW谐振器之间的引线较长，引线越长引入的耦合越强，导致滤波器的性能下降；另一方面，焊盘引线及位置设置导致滤波器面积过大，成本高。

因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种滤波器，以缩短滤波器的引线长度，且缩小滤波器的面积，降低制作成本。

为解决上述技术问题，本申请提供一种滤波器，所述滤波器包括多个级联的SAW谐振器；

每个所述SAW谐振器包括由下至上层叠的θ旋转Y切割的压电衬底和电极，所述θ旋转Y切割的压电衬底的定位边与声波传播方向的夹角为锐角。

可选的，所述夹角为45°。

可选的，所述θ旋转Y切割的压电衬底为钽酸锂衬底。

可选的，所述θ旋转Y切割的压电衬底为铌酸锂衬底。

可选的，所述电极为铝电极、镍电极、铬电极、金电极、铜电极中的任一种电极。

可选的，还包括：

位于所述电极上表面的保护层。

可选的，所述保护层为二氧化硅层、氮化硅层、氮氧化硅层中的任一种。

本申请所提供的一种滤波器，包括多个级联的SAW谐振器；每个所述SAW谐振器包括由下至上层叠的θ旋转Y切割的压电衬底和电极，所述θ旋转Y切割的压电衬底的定位边与声波传播方向的夹角为锐角。

可见，本申请滤波器中的SAW谐振器的θ旋转Y切割的压电衬底的定位边与声波传播方向的夹角为锐角，由于电极与声波传播方向垂直，也即电极与定位边的夹角为与定位边与声波传播方向的夹角互余的锐角，使得滤波器在使用过程时SAW谐振器可以与焊盘以更短的引线进行互联，从而降低由引线引入的耦合，增强滤波器的性能，并且可以有效利用电极以外的区域设置焊盘，有效缩小滤波器的面积，降低成本，同时减小滤波器的体积。

附图说明

为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为SAW谐振器中的压电衬底在三维坐标中的位置示意图；