[实用新型]一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构

说明书

本实用新型公开一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，包括底座和连接筒，所述连接筒的上端安装有底座，所述底座的上端设置有真空炉，所述真空炉的上端外壁上设置有冷却水管道，所述冷却水管道的下端外壁穿过真空炉并设置在真空炉的内部，所述真空炉内部的底座上端外壁上设置有真空仓门，所述真空仓门右侧的真空炉内部设置有加热棒，所述底座的上端内部设置有对位板，通过设计一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，在提纯铟完成后能够将真空仓门从真空炉内部向上升起，能够很方便地将真空仓门内部的废料完整地取出，且在不使用时能够缩到真空炉的下端，不会在真空炉使用时存在在真空炉的内部对提纯造成影响。

技术领域

本实用新型属于ITO废靶提纯铟相关技术领域，具体涉及一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构。

背景技术

ITO靶材是一种铟锡复合氧化物陶瓷材料，广泛应用于平板显示器件的透明电极、太阳能电池、飞机及高档汽车的防雾防霜玻璃等领域，ITO靶材的原料是氧化锡和氧化铟，氧化铟由铟金属制备得到，铟金属是一种贵重金属，全球预估真正可以得到的铟仅1.5万吨，而ITO靶材在溅射时使用率较低，一般仅为30％-40％，因此回收提纯ITO废靶材中的金属铟十分必要。

现有的ITO废靶提纯铟机构技术存在以下问题：现有的ITO废靶提纯铟机构在使用后需要将废料从真空炉内部取出，但废料在真空仓门的内部，从真空炉内部取出不够方便，不方便完整地取出收集。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，以解决上述背景技术中提出的ITO废靶提纯铟机构在将废料从真空炉内部取出不够方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，包括底座和连接筒，所述连接筒的上端安装有底座，所述底座的上端设置有真空炉，所述真空炉的上端外壁上设置有冷却水管道，所述冷却水管道的下端外壁穿过真空炉并设置在真空炉的内部，所述真空炉内部的底座上端外壁上设置有真空仓门，所述真空仓门右侧的真空炉内部设置有加热棒，所述底座的上端内部设置有对位板，所述对位板的下端外壁上设置有螺纹杆，所述螺纹杆的下端外壁穿过连接筒并设置在连接筒的内部，所述螺纹杆的下端外壁上设置有挡板，所述连接筒上端内壁上的螺纹杆外部套接有螺旋套，所述螺旋套的前端上侧外部套接有连接环，所述连接环的外部套接有套环，所述套环的上端外壁和连接筒的内壁通过焊接的方式固定连接。

优选的，所述对位板的下端外部套接有密封垫圈，所述对位板通过密封垫圈和底座的上端内壁密封连接。

优选的，所述连接环的外壁和套环的内壁能够完全贴合，所述套环的内壁均为光滑壁。

优选的，所述对位板的上端面和底座的上端外壁处于同一水平时，所述螺纹杆下端的挡板和连接筒的下端外壁处于同一水平面。

优选的，所述螺旋套的外壁上设置有摩擦纹，所述螺旋套的内部设置有和螺纹杆匹配的内螺纹。

优选的，所述加热棒共设置有两个，两个所述加热棒分别设置在真空仓门左右侧的真空炉内部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，具备以下有益效果：

本实用新型通过设计一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，在提纯铟完成后能够将真空仓门从真空炉内部向上升起，能够很方便地将真空仓门内部的废料完整地取出，且在不使用时能够缩到真空炉的下端，不会在真空炉使用时存在在真空炉的内部对提纯造成影响，在提纯铟使用完成后，将空气通入真空炉内部，转动螺旋套使得螺纹杆顶着对位板上升，将真空仓门顶升到真空炉的上端内部，即可很方便地打开仓门将仓门内部的废料取出回收，然后再反向转动螺旋套使得螺纹杆退回到连接筒的内部即可，通过本新型具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构使得设备内部废料的回收更加方便。

附图说明