[实用新型]电镀设备

权利要求书

1.一种电镀设备，其包括电镀腔、晶圆夹具和电源，其特征在于，所述电镀设备还包括移动机构，所述移动机构连接于所述晶圆夹具，所述移动机构能够带动所述晶圆夹具移入或移出所述电镀腔；

所述电源的数量为多个，多个所述电源的负极均和所述晶圆夹具电连接，多个所述电源的正极均和所述电镀腔电连接，多个所述电源的电流范围均不同。

2.如权利要求1所述的电镀设备，其特征在于，多个所述电源的正极均分别与所述电镀腔的阳极组件电连接，所述阳极组件包括若干阳极本体和绝缘层，两相邻的所述阳极本体之间通过所述绝缘层相隔离；

每一个所述电源均能够分别向一个或多个所述阳极本体供电。

3.如权利要求2所述的电镀设备，其特征在于，每一个所述电源的正极均包括与所述阳极组件的阳极本体一一对应设置的正极端口，所述正极端口分别与对应的阳极本体电连接。

4.如权利要求3所述的电镀设备，其特征在于，所述电镀设备还包括控制器，所述控制器分别与多个所述电源电连接，所述控制器用于发送供电指令到至少一个所述电源，所述电源能够基于接受到所述供电指令向至少一个所述正极端口供电。

5.如权利要求4所述的电镀设备，其特征在于，所述控制器还与所述移动机构电连接，所述的控制器包括存储单元，所述存储单元用于存储所述电镀设备的电镀参数。

6.如权利要求5所述的电镀设备，其特征在于，所述电镀腔的数量为多个，多个所述电源的正极均分别和所有的所述电镀腔电连接；

所述移动机构能够在多个所述电镀腔之间转运所述晶圆夹具，所述控制器还与所述移动机构电连接。

7.如权利要求1所述的电镀设备，其特征在于，所述电镀腔的数量为多个，所述移动机构能够在多个所述电镀腔之间转运所述晶圆夹具，多个所述电源的正极均分别和所有的所述电镀腔电连接。

8.如权利要求7所述的电镀设备，其特征在于，所述移动机构包括机械手，所述机械手的末端连接于所述晶圆夹具，所述机械手具有平移自由度和升降自由度。

9.如权利要求8所述的电镀设备，其特征在于，所述机械手具有实现竖直翻转的翻转运动模块，所述翻转运动模块设置于所述机械手的末端，并直接连接于所述晶圆夹具。

10.如权利要求8所述的电镀设备，其特征在于，所述机械手为六自由度机械手。