[实用新型]料盒安装机构和等离子清洗机有效
申请号: | 202022166141.4 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN213701067U | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 朱霆;叶贤斌;李文强;杨建新;张凯 | 申请(专利权)人: | 深圳泰德半导体装备有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00 |
代理公司: | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人: | 刘冰 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 安装 机构 等离子 清洗 | ||
1.一种料盒安装机构,其特征在于,包括:
料盒安装座;
夹紧驱动件;以及,
夹紧组件,安装于所述料盒安装座,并包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件和第二夹紧件,所述第一夹紧件和所述第二夹紧件中至少一者可被所述夹紧驱动件驱动并向另一者滑动,所述第一夹紧件和所述第二夹紧件用于共同夹紧待安装的料盒。
2.如权利要求1所述的料盒安装机构,其特征在于,所述第一夹紧件滑动安装于所述料盒安装座上并可被所述夹紧驱动件驱动滑动,所述第二夹紧件固定安装于所述料盒安装座上;
所述夹紧组件设有多组,多组所述夹紧组件沿所述第一夹紧件的滑动方向排布。
3.如权利要求2所述的料盒安装机构,其特征在于,所述料盒安装座上还设有第一夹紧导轨,所述料盒安装机构还包括第一滑动件,所述第一滑动件滑动安装于所述第一夹紧导轨上并沿所述第一夹紧导轨的延伸方向延伸;
所有所述第一夹紧件均安装于所述第一滑动件上,所述第一滑动件滑动可被所述夹紧驱动件驱动。
4.如权利要求3所述的料盒安装机构,其特征在于,所述第一滑动件上还设有第二夹紧导轨,所述第二夹紧导轨沿所述第一夹紧导轨的延伸方向延伸,所述第一夹紧件滑动安装于所述第二夹紧导轨上;
每个所述第一夹紧件和所述第一滑动件之间还连接有弹性件,所述弹性件沿所述第二夹紧导轨的延伸方向延伸。
5.如权利要求4所述的料盒安装机构,其特征在于,所述第一夹紧导轨设有多条,多条所述第一夹紧导轨并排设置,所述第一滑动件滑动同时安装于所述多条第一夹紧导轨上。
6.如权利要求1至5任意一项所述的料盒安装机构,其特征在于,所述料盒安装座包括上下相对的下座和上座,所述上座的顶面用于供待安装的料盒放置,所述夹紧驱动件和所述夹紧组件均安装于所述上座和所述下座之间,且所述第一夹紧件和所述第二夹紧件均伸出所述上座的顶面。
7.如权利要求6所述的料盒安装机构,其特征在于,所述料盒安装机构还包括支撑垫,所述支撑垫安装于所述上座的顶面并位于所述第一夹紧件和所述第二夹紧件之间,所述支撑垫用于支撑待安装的料盒。
8.如权利要求7所述的料盒安装机构,其特征在于,所述支撑垫呈条状结构,每组所述夹紧组件均对应设有两条所述支撑垫,其中一条与所述第一夹紧件固定连接,另一条在靠近所述第二夹紧件的位置上相对所述第二夹紧件固定。
9.如权利要求1至5任意一项所述的料盒安装机构,其特征在于,所述料盒安装机构还包括:
升降模组,包括升降驱动件和竖向延伸的升降导轨;
横移模组,包括横移驱动件和水平延伸的横移导轨,所述横移导轨滑动安装于所述升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动;
所述料盒安装座滑动安装于所述横移导轨上并可被所述横移驱动件驱动而滑动。
10.一种等离子清洗机,其特征在于,包括如权利要求1至9任意一项所述的料盒安装机构。
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