[实用新型]一种可调式多光路干涉系统

权利要求书

1.一种可调式多光路干涉系统，其特征在于：包括光学平台，所述光学平台上陈设有若干调整支架，通过在不同调整支架上分别安装全反镜及半透镜对光束干涉图案进行调节，所述光学平台设置有激光器，激光器发出光束并经全反镜及半透镜终交汇与样品台上。

2.根据权利要求1所述的一种可调式多光路干涉系统，其特征在于：所述调整支架包括底座、伸缩结构、旋转架以及翻转支架，所述伸缩结构包括竖直固设在底座上的套筒，所述套筒内同轴设置伸缩杆，并经径向螺接入套筒上端的第一调节旋钮调节升降，所述旋转架套设伸缩杆近上端并通过自外朝内径向螺接的第二调节旋钮调节朝向，第二调节旋钮内端顶接在伸缩杆上定位；所述翻转支架包括水平延伸并垂直穿设旋转架的支杆，支杆与旋转架之间通过自外朝内径向螺接的第三调节旋钮调节精确朝向，第三调节旋钮内端顶接在支杆上定位，所述支杆外端固连有镜片安装夹。

3.根据权利要求2所述的一种可调式多光路干涉系统，其特征在于：自激光器射出的光束经第一半透镜分为两束，分别射向上方的第一全反镜与侧方第二全反镜上，通过第一全反镜斜向下反射至第二半透镜后分射出两束并分别射至第三全反镜与第四全反镜上，再经第三全反镜与第四全反镜反射交汇于样品台上。

4.根据权利要求3所述的一种可调式多光路干涉系统，其特征在于：所述第二全反镜反射至第三半透镜上并分为两束，分别射向第五全反镜与第六全反镜上，再通过第五全反镜与第六全反镜反射交汇于样品台上。

5.根据权利要求3或4所述的一种可调式多光路干涉系统，其特征在于：所述第三、四、五、六全反镜与样品台之间的光路均通过扩束机构进行扩束，所述扩束机构包括第一平凸透镜与第二平凸透镜，两平凸透镜之间设置有光阑，光路先射入第一平凸透镜，后穿过光阑射至第二平凸透镜扩束后射至样品台上。

6.根据权利要求5所述的一种可调式多光路干涉系统，其特征在于：所述第一平凸透镜尺寸小于第二平凸透镜。