[实用新型]一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置

说明书

本实用新型公开了一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，包括依次设置的小车组件、第一导向组件和第二导向组件，小车组件侧面安装有托盘组件，小车组件外侧设有固定托盘组件的锁定装置，小车组件正面的上部及下部设有承载托盘组件的导向轮，托盘组件的外侧面固定安装有长齿条，小车组件与第一导向组件之间及第二导向组件上均安装有传动组件，传动组件设有长齿条啮合的齿轮，第一导向组件和第二导向组件之间设有插板阀，第一导向组件和第二导向组件设有与小车组件对应的导向轮。该结构设计精巧，结构紧凑，通过外部的手柄对腔室内的工件过渡托盘进行牵引，通过齿轮齿条实现进给运动，运动过程平稳可控，很好的实现了工件的更换。

技术领域

本实用新型涉及真空装置技术领域，具体来说，涉及一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置。

背景技术

在真空腔室较长的高真空设备中，如多腔室高真空镀膜机，考虑到更换镀膜工件时会破坏设备真空度，因此往往把腔室设计成多段，中间连接处设置有插板阀；更换工件时，工件由镀膜位置移动到最外侧的进样腔室，插板阀关闭，使得仅有一个外侧进样腔室与大气连通；更换工件后，需要抽真空的腔室体积较小，缩短了抽气时长，提高了效率，当外侧腔室抽到一定真空度后，打开插板阀，将工件送到镀膜位置。

工件在真空系统中的运动，其要求该运动平稳，结构简单，在运动过程无法通过腔室外侧进行控制，运动到位后，也没有有定位装置，且该运动影响插板阀的打开和闭合。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，能够克服现有技术的上述不足。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，包括依次设置的小车组件、第一导向组件和第二导向组件，所述小车组件侧面安装有托盘组件，所述小车组件外侧设有固定所述托盘组件的锁定装置，所述小车组件正面的上部及下部设有承载所述托盘组件的导向轮，所述托盘组件的外侧面固定安装有长齿条，所述小车组件与所述第一导向组件之间及所述第二导向组件上均安装有传动组件，所述传动组件设有所述长齿条啮合的齿轮，所述第一导向组件和所述第二导向组件之间设有插板阀，所述第一导向组件和所述第二导向组件设有与所述小车组件对应的导向轮。

进一步地，所述锁定装置固定安装在所述小车组件的右侧，所述锁定装置上设有弹簧滚珠，所述托盘组件设有一矩形板，所述矩形板的右侧固定连接有固定连接板，所述固定连接板上连接有与所弹簧滚珠卡合的滚珠固定板。

进一步地，所述矩形板的中部固定安装有夹持台，所述矩形板的上下侧边滑动安装在导向轮的沟槽内。

进一步地，所述小车组件上部的导向轮为移动导向轮，所述小车组件下部的导向轮为固动导向轮，所述移动导向轮上设有与小车组件连接的伸缩杆。

进一步地，所述传动组件设有与所述齿轮的磁流体轴，所述磁流体轴，的外侧连接有手轮，所述磁流体轴通过法兰连接在真空腔的侧壁上。

本实用新型的有益效果：该结构设计精巧，结构紧凑，以磁流体密封结构穿越腔室，通过外部的手柄对腔室内的工件过渡托盘进行牵引，通过齿轮齿条实现进给运动，运动过程平稳可控，很好的实现了工件的更换。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例所述的一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例所述的小车组件与托盘组件的结构示意图；