[实用新型]面压测定工具

权利要求书

1.一种面压测定工具，在沿着输送方向输送基板的具有狭窄的间隙的输送路中通过来测定向所述输送路中的所述基板施加的面压，

所述面压测定工具的特征在于，具备：

面压传感器，由在一部分连接有控制部的具有挠性的片材构成，并具有与所述控制部相连的多个压力检测部至少沿着宽度方向排列的传感器部；及

支撑板，由在一个面上重叠地搭载所述面压传感器的板材构成，并具有收纳所述控制部的收纳孔部，

在俯视观察下的整个区域，所述面压测定工具的厚度比所述输送路的最小的间隙薄。

2.根据权利要求1所述的面压测定工具，其特征在于，

所述控制部具有与外部设备进行通信的通信部。

3.根据权利要求1或2所述的面压测定工具，其特征在于，

所述面压测定工具利用由具有防水性的树脂片构成的防水罩覆盖周围。

4.根据权利要求3所述的面压测定工具，其特征在于，

所述防水罩在面向所述收纳孔部的位置具有能够利用开闭片进行开闭的开闭窗部，通过打开所述开闭窗部而使所述收纳孔部内的所述控制部露出。

5.根据权利要求1或2所述的面压测定工具，其特征在于，

所述传感器部的沿着所述宽度方向排列的所述压力检测部沿着所述输送方向排列成多列。

6.根据权利要求1或2所述的面压测定工具，其特征在于，

在俯视观察下的整个区域，所述面压测定工具的厚度为2.0mm以下。