[实用新型]COG预对位装置有效
申请号: | 202022177558.0 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN213340327U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 李连伟;刘太兴;朱泽力;王士敏 | 申请(专利权)人: | 深圳莱宝高科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 唐佳芝 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | cog 对位 装置 | ||
本申请适用于IC压合技术领域,提出一种COG预对位装置,包括:对位平台,所述对位平台上开设有通槽;支撑件,设于所述通槽中;承载片,设于所述支撑件上且位于所述通槽的顶部,用于支撑待邦定件;及CCD相机,设于所述对位平台远离所述承载片的一侧且对应于所述通槽设置,所述CCD相机用于获取待邦定件的位置信息。该COG预对位装置具有较高的对位精度。
技术领域
本申请涉及IC压合技术领域,尤其涉及一种COG预对位装置。
背景技术
随着高密度封装技术的发展,COG和COF技术已经广泛应用于各种平板显示器和个人移动产品中。COG全称为chip on glass,即玻璃上芯片技术;COF全称为chip on film,即为柔性基板上的芯片技术。
目前柔性基板与IC连接的技术主要有金锡共晶互连、各向异性导电胶互连、非导电胶互连等。金锡共晶互连是利用IC芯片上的金凸块和镀上锡(或其它金属)的柔性基板引线,通过加热加压,在接触面形成金-锡共晶,达到连接的目的;各向异性导电胶(ACF)互连是将ACF贴合于IC的凸块与基板线路之间,并利用适当的压力、温度和时间使树脂开始流动或爆破,而导电粒子则与IC凸块与基板线路接触而达到导通的作用,又由于选用适当的导电粒子粒径及添加量,使其在凸块与凸块之间无法接触从而达到各向异性导通特性。
如果采用ACF互连,卷带式的柔性基板的邦定可以与目前成熟的COG设备较好地兼容,但是如果需要对单个柔性基板进行邦定,目前市场没有现成的邦定设备,原COG设备需要改造。COG设备通常包括ACF贴附机、IC预对位机、IC本压机,IC预对位机中的CCD相机一般在平台下方,平台上设有镂空区,镂空区无法支撑柔性基板,故平台上需要垫整块较厚的石英条,但太厚的石英条会导致光穿过石英条之后捕捉mask时的偏移量较大,从而影响了对位精度。
实用新型内容
本申请提供了一种COG预对位装置,以提升对位精度。
一种COG预对位装置,包括:
对位平台,所述对位平台上开设有通槽;
支撑件,设于所述通槽中;
承载片,设于所述支撑件上且位于所述通槽的顶部,用于支撑待邦定件;及
CCD相机,设于所述对位平台远离所述承载片的一侧且对应于所述通槽设置,所述CCD相机用于获取待邦定件的位置信息。
进一步地,所述支撑件设于所述通槽的中部。
进一步地,所述CCD相机的数量为两个,两个所述CCD相机分别设于所述支撑件的两侧。
进一步地,所述支撑件的高度小于所述通槽的深度,所述承载片和所述对位平台远离所述CCD相机的表面平齐。
进一步地,所述对位平台在所述通槽的两侧分别设有辅助部,所述辅助部的高度和所述支撑件的高度相同,所述辅助部用于支撑所述承载片的边缘。
进一步地,所述对位平台包括相对设置的顶面、底面和连接于所述顶面和所述底面之间的侧面,所述顶面用于承载待邦定件;
所述通槽贯穿所述顶面和所述底面,以及一个所述侧面。
进一步地,所述对位平台上设有真空吸附孔,所述真空吸附孔至少设于所述通槽的一侧,所述真空吸附孔用于吸附和固定待绑定件。
进一步地,所述承载片的材质为石英或玻璃。
进一步地,所述支撑件的材质为石英或玻璃。
进一步地,所述待邦定件为柔性电路板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳莱宝高科技股份有限公司,未经深圳莱宝高科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022177558.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造