[实用新型]干法镀膜设备腔体支撑用可拆分式机架有效

专利信息
申请号: 202022182514.7 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN213271745U 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 张德勇 申请(专利权)人: 常州市永平机械制造有限公司
主分类号: F16M11/04 分类号: F16M11/04;F16M11/20
代理公司: 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 34158 代理人: 刘跃
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 设备 支撑 拆分 机架
【权利要求书】:

1.一种干法镀膜设备腔体支撑用可拆分式机架,其特征在于:包括对称设置的侧部支撑装置(1)及纵向连接杆(2),所述侧部支撑装置(1)包括连接板(3),所述连接板(3)两侧焊接固定有支撑柱(4),所述连接板(3)顶端边沿与支撑柱(4)顶端边沿相齐平,所述连接板(3)顶端焊接固定有横向连接杆(5),所述支撑柱(4)顶端表面开设有限位槽(6),所述纵向连接杆(2)底端具有限位块(7),所述限位块(7)与限位槽(6)相适配,所述纵向连接杆(2)和横向连接杆(5)一侧均具有承载块(8),所述承载块(8)表面开设有若干通孔(9),两侧所述侧部支撑装置(1)之间设置有固定装置(10)及紧固机构(11),所述紧固机构(11)包括调节杆,所述调节杆包括第一调节杆(12)和第二调节杆(13),所述第一调节杆(12)一端固定连接有螺纹杆(14),所述第二调节杆(13)一端固定连接有套管(15),所述套管(15)内壁开设有内螺纹,所述螺纹杆(14)与套管(15)螺纹固定连接,所述调节杆两端均设置有弹簧(16),所述弹簧(16)一端固定连接有衔接块(17),所述衔接块(17)一端与调节杆转动连接。

2.根据权利要求1所述的干法镀膜设备腔体支撑用可拆分式机架,其特征在于:所述固定装置(10)包括第一固定杆和第二固定杆,所述第一固定杆与第二固定杆之间为铰接,所述第一固定杆和第二固定杆的两端均经螺柱与支撑柱(4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的干法镀膜设备腔体支撑用可拆分式机架,其特征在于:所述纵向连接杆(2)与支撑柱(4)经螺柱固定连接。

4.根据权利要求1所述的干法镀膜设备腔体支撑用可拆分式机架,其特征在于:所述承载块(8)表面放置有承载板。

5.根据权利要求1所述的干法镀膜设备腔体支撑用可拆分式机架,其特征在于:所述支撑柱(4)底端侧部具有凸出块(18),所述凸出块(18)表面开设有挂孔,所述弹簧(16)端部与挂孔固定连接。

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