[实用新型]一种波纹管测漏治具

说明书

本实用新型提供了一种波纹管测漏治具，该治具由模块A以及模块B共同组成，所述模块A设置为上盖板，所述模块B设置为用于容纳波纹管的桶形结构，将所述波纹管置于所述桶形结构内并盖上所述上盖板形成组合体，将该组合体密封固定后进行测漏；通过设置由模块A和模块B共同组成的测漏治具，波纹管置于桶形的模块B内再配合模块A作为上盖，并用螺丝组合固定形成真空区域，配合串联测漏设备进行测漏，这种将波纹管密封内置于测漏治具内部的方式，密封效果佳且结构简易，测漏结果更加准确，解决了现有技术中存在的密封性无法保证、测试结果不准的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，具体涉及一种波纹管测漏治具。

背景技术

DPS步进阀主要功能是控制集成电路制造反应室真空压力，波纹管为主要核心部件，该部件会随步进阀的开关有拉伸及压缩状态，若有漏真空的问题，会使反应室真空压力失控，造成产品量异常，因此需要对DPS步进阀波纹管的真空状况进行测试。

申请号为CN201510712929.1的中国实用新型专利公开了波纹管测漏工装，包括带孔上法兰盖板、双头螺柱、波纹管、六角螺母、带孔底部盲板和密封圈。密封圈安装在波纹管两端的法兰密封槽中，带孔底部盲板与波纹管的法兰孔位对应，通过双头螺柱和六角螺母将带孔底部盲板、带孔上法兰盖板与波纹管固定连接，带孔上法兰盖板的接口处连接检漏仪。

然而现有技术中的测漏工装中，需设置双头螺柱和密封圈等配件进行密封连接，结构复杂，且波纹管与上法兰盖板和底部盲板之间连接关系难以确保完全密封，测漏数据真实性和有效性低下。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型提供了一种波纹管测漏治具，通过设置由模块A和模块B共同组成的测漏治具，波纹管置于桶形的模块B内再配合模块A作为上盖，并用螺丝组合固定形成真空区域，配合串联测漏设备进行测漏，这种将波纹管密封内置于测漏治具内部的方式，密封效果佳且结构简易，测漏结果更加准确，解决了现有技术中存在的密封性无法保证、测试结果不准的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种波纹管测漏治具，该治具由模块A以及模块B共同组成，所述模块A设置为上盖板，所述模块B设置为用于容纳波纹管的桶形结构，将所述波纹管置于所述桶形结构内并盖上所述上盖板形成组合体，将该组合体密封固定后进行测漏。

作为优选，所述上盖板、波纹管以及桶形结构的边沿由螺钉依次贯穿进行固定。

作为优选，所述桶形结构包括圆筒主体、由所述圆筒主体一端部沿径向延伸得到的安装部以及开设于所述圆筒主体上且用于与真空泵以及氦气测漏机串联使用的接口；所述安装部的尺寸与所述波纹管端部的凸沿相匹配。

作为优选，所述接口贯穿所述圆筒主体的圆周面设置。

作为优选，所述上盖板设置为圆形结构且尺寸与所述凸沿相匹配。

作为优选，所述上盖板的边缘、凸沿以及安装部上对应开设有螺纹孔。

作为优选，所述螺纹孔对应沿周向均布设置有多组。

作为优选，所述模块A以及模块B采用白钢材质。

作为优选，所述模块A以及模块B与所述波纹管密封连接部位设置为光滑平面结构。

本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型通过设置由模块A和模块B共同组成的测漏治具，波纹管置于桶形的模块B内再配合模块A作为上盖，用螺丝组合固定后形成真空区域，配合串联测漏设备进行测漏，这种将波纹管密封内置于测漏治具内部的方式，密封效果佳且结构简易，测漏结果更加准确，测漏操作方便，解决了现有技术中存在的密封性无法保证、测试结果不准的技术问题；