[实用新型]一种兼容多波长的超陡的宽带滤光片

权利要求书

1.一种兼容多波长的超陡的宽带滤光片，其特征在于，包括基层和堆叠在基层上的膜系，所述膜系的膜系结构包括若干个法布里-帕罗腔及连接层；所述连接层为非四分之一波长光学厚度或四分之一波长光学厚度的低折射率膜层，所述连接层位于相邻的所述法布里-帕罗腔之间。

2.如权利要求1所述的兼容多波长的超陡的宽带滤光片，其特征在于，所述法布里-帕罗腔包括若干高折射率膜层和低折射率膜层对称或非对称交替堆叠。

3.如权利要求1所述的兼容多波长的超陡的宽带滤光片，其特征在于，所述宽带滤光片在30dB插损的波长与0.315dB插损的波长之间的间隔小于6nm。

4.如权利要求1所述的兼容多波长的超陡的宽带滤光片，其特征在于，所述宽带滤光片的带通光谱存在小于00315db插损的波长范围大于200nm。

5.如权利要求1所述的兼容多波长的超陡的宽带滤光片，其特征在于，所述宽带滤光片的膜系结构为：(a_iHb_iL n_iM c_iLd_iHe_iL)^k fHgL；其中，H为四分之一中心波长光学厚度的高折射率膜层，L为四分之一中心波长光学厚度的低折射率膜层；

k表示法布里-帕罗腔的总级联次数，k为大于等于15，小于等于40的整数；

i为1、2、3、……k序列，用于描述每一个法布里帕罗腔各膜层的系数编号；

其中，a_i、b_i、c_i、di为第i个法布里帕罗腔中膜膜系中系数，为奇数；

e_i为法布里-帕罗腔之间的低折射率连接层的系数；

n_i为0或奇数；

M为每一个法布里帕罗腔的腔层LL、HH的至少之一；

fHgL为匹配空气介质膜层。

6.如权利要求5所述的兼容多波长的超陡的宽带滤光片，其特征在于，所述宽带滤光片的膜系结构为：

HL LH L

HL L3H L

(HL HH LH L)^26

HL L3H L

HL LH L 1.33H1.33L

其中，K为30；

a₁、b₁、c₁、d₁、e₁＝1，n₁＝0,HL LH L的级联次数为1；

a₂、b₂、d₂、e₂＝1,c₂＝3,n₂＝0,HL L3H L的级联次数为1；

中间26层的a_i、b_i、c_i、d_i、e_i＝1，n_i＝1，M为HH，HL HH LH L的级联次数为26；

a₂₉、b₂₉、d₂₉、e₂₉＝1，c₂₉＝3,n₁＝0,HL L3H L的级联次数为1；

a₃₀、b₃₀、c₃₀、d₃₀、e₃₀＝1，n₁＝0,HL LH L的级联次数为1；

f、g＝1.33，是匹配空气介质膜层的系数。