[实用新型]一种高纯氩气纯化装置

权利要求书

1.一种高纯氩气纯化装置，其特征在于，包括通过管道依次相连接的稳压阀、换热除氧机构、冷却器、冷干机、吸附器、过滤器、背压阀、流量检测计，在流量检测计的出口管路上分设有纯气出口分支管路、放空分支管路，且在流量检测计的出口管路上设有气体成分检测计；

所述换热除氧机构包括换热器，换热器的第一进口与稳压阀相连通，换热器的第一出口与加热器相连通，加热器与除氧器进口相连通，除氧器出口折回再与换热器的第二进口相连通，换热器的第二出口与冷却器相连通；

所述吸附器包括两个并联设置的两个分吸附器，所述两个分吸附器的进口端之间通过进口阀门组相连接，两个分吸附器的出口端之间通过出口阀门组相连接，进口阀门组和出口阀门组用于控制两个分吸附器互相备用交替工作，所述冷干机的出口与进口阀门组相连接，过滤器的进口与出口阀门组相连接。

2.根据权利要求1所述的高纯氩气纯化装置，其特征在于，在分吸附器与进口阀门组之间设有干燥器，在进口阀门组与放空分支管路之间设有真空泵。

3.根据权利要求1或2所述的高纯氩气纯化装置，其特征在于，所述换热器的排污分管与冷却器的排污分管汇合后形成排污总管，排污总管的末端、冷却器进水管末端、冷却器出水管末端均设置在同侧。