[实用新型]一种具有条带型输出光斑的扫描光源

说明书

本实用新型公开了一种具有条带型输出光斑的扫描光源，由光源、汇聚光学器件、光纤或光纤束、以及准直光学器件组成，所述光纤束的入口端呈圆盘状，所述光纤束的出口端呈条形行列状，其中，所述汇聚光学器件用于将光源发出的光线送入光纤束的入口端，光纤出口端的光线经由准直光学器件后形成条带型输出光斑。本实用新型通过引入重构光输出端口的光纤(束)来制造条带型光斑，该方案不再需要额外的光线/光束整形光学器件(例如狭缝)，其结构简化，同时减少了光强度损失，也即提高了扫描光源光强度。

技术领域

本实用新型涉及光学缺陷检测领域，尤其涉及一种具有条带型输出光斑的扫描光源。

背景技术

随着半导体产业的发展，光学缺陷检测的需求越来越来高。

该领域的光学缺陷检测对测量通量(throughput)有很高的要求，高测量速度对照明光源、运动模块、探测器和算法都不断提出进步的要求。

特别的改进是，把原先的扫描用途的点光源，通过光学器件(以圆柱透镜为基础的镜头组)修成条带型光源，

或者如图4所示，该扫描光源由光纤(束)1、位于光纤入口端的光源2、汇聚光学器件3、位于光纤出口端的准直光学器件4、狭缝器件5构成，其使用狭缝直接切割出一个条带型的光斑。

然而，使用光学镜片组或者狭缝修理光源光斑，要求设计复杂的光路，同时也带来扫描光源强度的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有条带型输出光斑的扫描光源，其在优化扫描光源的光路结构的同时提高扫描光源强度。

为此，本实用新型提供了一种具有条带型输出光斑的扫描光源，由光源、汇聚光学器件、光纤束、以及准直光学器件组成，所述光纤束的入口端呈圆盘状，所述光纤束的出口端呈条形行列状，其中，所述汇聚光学器件用于将光源发出的光线送入光纤束的入口端，光纤出口端的光线经由准直光学器件后形成条带型输出光斑。

进一步地，上述光纤束的出口端设有形状保持环，用于将所述光纤束约束为条形行列状。

进一步地，上述光纤束的出口端的多个光纤粘接凝固成一个呈条形行列的整体形状。

本实用新型还提供了一种具有条带型输出光斑的扫描光源，由光源、汇聚光学器件、光纤棒、以及准直光学器件组成，所述光纤棒的入口端呈圆形，所述光纤棒的出口端呈矩形，其中，所述汇聚光学器件用于将光源发出的光线送入光纤棒的入口端，光纤出口端的光线经由准直光学器件后形成条带型输出光斑。

本实用新型通过引入重构光输出端口的光纤(束)来制造条带型光斑，该方案不再需要额外的光线/光束整形光学器件(例如狭缝)，其结构简化，同时减少了光强度损失，也即提高了扫描光源光强度。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是根据本实用新型的具有条带型输出光斑的扫描光源的光路结构示意图；

图2是根据本实用新型的扫描光源的光纤束出口形状(条形行列状)的示意图；

图3是根据本实用新型的扫描光源的光纤出口形状的示意图；

图4是根据本实用新型的具有条带型输出光斑的扫描光源的光路结构示意图；

图5是现有技术的扫描光源的光纤束入口或出口形状的示意图；以及

图6是现有技术的扫描光源的光纤入口或出口形状的示意图。