[实用新型]按钮设备、输入设备以及电子装置

权利要求书

1.一种按钮设备，其特征在于，包括MEMS传感器，所述MEMS传感器包括MEMS应变检测结构和可变形基板，所述可变形基板被配置为响应于外力而经历变形，所述MEMS应变检测结构包括：

移动元件；

第一锚固件和第二锚固件，所述第一锚固件和所述第二锚固件二者相对于所述可变形基板是刚性的，并且所述第一锚固件和所述第二锚固件二者被配置为响应于所述外力而在所述移动元件上位移以及生成变形力；以及

定子元件，电容耦合到所述移动元件，所述移动元件的位移导致在所述移动元件与所述定子元件之间的电容变化，所述MEMS传感器被配置为基于所述电容变化来生成检测信号。

2.根据权利要求1所述的按钮设备，其特征在于，所述移动元件包括：

梁，被配置为响应于所述变形力而围绕旋转轴线旋转，所述梁具有第一半梁和第二半梁；

第一臂，在所述第一半梁与所述第一锚固件之间延伸，并且所述第一臂将所述第一半梁与所述第一锚固件耦合；

第二臂，在所述第二半梁与所述第二锚固件之间延伸，并且所述第二臂将所述第二半梁与所述第二锚固件耦合，所述第一臂和所述第二臂彼此处于偏心位置，并且在受到所述变形力时，所述第一臂和所述第二臂在所述梁上生成扭矩。

3.根据权利要求2所述的按钮设备，其特征在于，所述定子元件包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极分别面向、并且分别电容耦合到所述第一半梁和所述第二半梁。

4.根据权利要求3所述的按钮设备，其特征在于，所述移动元件包括：

第一框架结构，相对于所述第一半梁是刚性的，并且所述第一框架结构包围所述定子元件的所述第一电极；以及

第二框架结构，相对于所述第二半梁是刚性的，并且所述第二框架结构包围所述定子元件的所述第二电极。

5.根据权利要求4所述的按钮设备，其特征在于，所述第一框架结构和所述第二框架结构包括：

相应纵向侧，被布置为平行于所述梁并且相对于所述梁对称；以及

相应横向侧，在横向于所述纵向侧的方向上延伸，

其中所述第一框架结构和所述第二框架结构限定第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口被配置为包围所述第一电极和所述第二电极。

6.根据权利要求5所述的按钮设备，其特征在于，所述定子元件包括：第三电极和第四电极，所述第三电极和所述第四电极被布置在所述第一开口和所述第二开口中，并且所述第三电极和所述第四电极在横向上分别与所述第一电极和所述第二电极相邻以及平行，所述第三电极和所述第四电极分别直接面向、并且分别电容耦合到所述纵向侧。

7.根据权利要求1所述的按钮设备，其特征在于，所述移动元件包括第一振荡元件，所述第一振荡元件包括：

第一测量柔性臂和第二测量柔性臂，每个测量柔性臂具有第一端和第二端，所述第一测量柔性臂和所述第二测量柔性臂电容耦合到所述定子元件，并且所述第一测量柔性臂和所述第二测量柔性臂被配置为在测量谐振频率处振荡；

第一测量连接臂和第二测量连接臂，所述第一测量连接臂将所述第一测量柔性臂的所述第一端和所述第二测量柔性臂的所述第一端耦合在一起，并且所述第二测量连接臂将所述第一测量柔性臂的所述第二端和所述第二测量柔性臂的所述第二端耦合在一起，从而形成测量窗口；以及

第一测量锚固臂和第二测量锚固臂，各自在所述第一测量连接臂和所述第二测量连接臂中的相应一个测量连接臂与相应锚固件之间延伸。

8.根据权利要求7所述的按钮设备，其特征在于，所述定子元件包括：

第一测量驱动电极和第二测量驱动电极，分别面向、并且分别电容耦合到所述第一测量柔性臂和所述第二测量柔性臂；以及

至少一个测量电极，面向、并且电容耦合到所述第一测量柔性臂和所述第二测量柔性臂中的至少一个测量柔性臂。