[实用新型]一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件有效
申请号: | 202022192837.4 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213352346U | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 王永超;赵泽良 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | B25H1/06 | 分类号: | B25H1/06;B25B11/00;B25H1/08 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 李伟 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 静压 制备 管型靶材 支撑 | ||
1.一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上固定连接有固定杆(2),所述固定杆(2)上固定连接有套筒(3),且套筒(3)中转动连接有T形固定块(4),所述T形固定块(4)上开设有凹槽(5),且凹槽(5)中固定连接有插杆(6),所述插杆(6)上开设有两个对称设置的滑槽(7),所述滑槽(7)中滑动连接有滑杆(8),且滑杆(8)上固定连接有抵块(9),所述抵块(9)与插杆(6)之间固定连接有多个复位弹簧(10),所述滑槽(7)中固定连接有与滑杆(8)相配合的电磁片(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件,其特征在于,所述底座(1)上转动连接有转轴(12),所述转轴(12)的一端与T形固定块(4)固定连接,且转轴(12)的另一端套接有转把(13)。
3.根据权利要求2所述的一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件,其特征在于,所述转轴(12)上螺纹连接有螺杆(14),所述底座(1)的一侧侧壁上开设有多个与螺杆(14)相配合的螺纹槽(15),且多个螺纹槽(15)呈环形分布。
4.根据权利要求1所述的一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件,其特征在于,所述底座(1)上固定连接有支撑板(16),且支撑板(16)上开设有通孔(17)。
5.根据权利要求1所述的一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件,其特征在于,所述套筒(3)套接有轴承(18),且轴承(18)与T形固定块(4)过盈配合。
6.根据权利要求1所述的一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件,其特征在于,所述抵块(9)上粘接有摩擦垫(19)。
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