[实用新型]一种高纯钨坯体制备系统

权利要求书

1.一种高纯钨坯体制备系统，其特征在于，包括：

六氟化钨制备机构和钨坯体制备机构；其中

所述六氟化钨制备机构适于从原料中制备出六氟化钨，并投放至所述钨坯体制备机构；以及

所述钨坯体制备机构适于从六氟化钨中制备出高纯钨坯体。

2.如权利要求1所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述六氟化钨制备机构包括：依次设置的反应釜、过滤组件、分馏组件、加压组件和缓存容器；

所述反应釜适于容纳下三氟化氮和钨粉，以使三氟化氮和钨粉在反应釜内充分反应生成六氟化钨和氮气；

生成的六氟化钨依次经所述过滤组件、分馏组件、加压组件进行过滤、分馏提纯、加压液化后充入缓存容器。

3.如权利要求2所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述反应釜设置有反应釜加热器，所述反应釜加热器适于对投入反应釜内的三氟化氮和钨粉加热，以使三氟化氮和钨粉进行反应。

4.如权利要求2所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述六氟化钨制备机构还包括：碱液中和处理组件；

所述碱液中和处理组件适于对反应生成的氮气进行碱液中和，以去除氮气中残余氟化物后排放至高空。

5.如权利要求2所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述钨坯体制备机构包括：输入组件、电解组件和反应容器；

所述输入组件连接缓存容器，所述电解组件适于电解制备高纯氢气，即

所述缓存容器中六氟化钨经输入组件经减压、流量调节后与高纯氢气按照相应比例混合输入反应容器内；

所述反应容器内对混合物加热，以使混合物反应生成钨沉积于反应容器内基地表面，并形成高纯钨坯体。

6.如权利要求5所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述反应容器设置有反应容器加热器，所述反应容器加热器适于对投入反应容器内的六氟化钨和高纯氢气加热，以使六氟化钨和高纯氢气进行反应生成钨。

7.如权利要求6所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述反应容器加热器适于加热反应容器内温度为550摄氏度至650摄氏度。

8.如权利要求5所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述输入组件包括：设置在缓存容器于反应容器连接处的调压阀；

所述缓存容器中六氟化钨通过调压阀进行减压、流量调节输送至反应容器内。

9.如权利要求1所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述六氟化钨制备机构和钨坯体制备机构均设置有的氟化物检测传感器和氢气检测传感器，即

当氟化物检测传感器和氢气检测传感器检测到有害气体泄漏时，切断六氟化钨制备机构和钨坯体制备机构中原料气体终止反应。

10.如权利要求1所述的高纯钨坯体制备系统，其特征在于，

所述高纯钨坯体制备系统还包括：碱水喷淋装置；

所述碱水喷淋装置适于中和泄漏氟化物。