[实用新型]传感装置与电子烟

权利要求书

1.一种传感装置，其特征在于，所述传感装置用于检测气流通道的内部气流，所述传感装置包括微机电结构，所述微机电结构包括：

振动膜；以及

背板，与所述振动膜相对设置以形成电容，所述背板具有至少一个通孔，所述背板与所述振动膜之间具有间隙，

其中，所述振动膜的第一表面与所述气流通道的内部连通，所述振动膜的第二表面经由所述间隙与外部大气连通，所述振动膜阻隔所述气流通道的内部与所述间隙连通，

所述振动膜在所述第一表面与所述第二表面的气压差的作用下发生形变，所述电容的容值变化至少表征所述气流通道内的气体流速。

2.根据权利要求1所述的传感装置，其特征在于，还包括：

芯片结构，与所述微机电结构电连接；以及

封装结构，包括封装外壳与基板，用于形成第一容置腔，所述微机电结构与所述芯片结构位于所述第一容置腔内，并固定在所述基板上，

其中，所述封装结构具有第一气孔与第二气孔，所述第一气孔分别与所述振动膜的第一表面和所述气流通道内部连通，所述第二气孔分别与所述间隙和所述外部大气连通。

3.根据权利要求2所述的传感装置，其特征在于，还包括指示灯，固定在所述基板上并与所述基板电连接，

其中，所述指示灯在所述电容的容值达到预设值的情况下提供指示光。

4.一种电子烟，其特征在于，包括传感装置和烟杆，所述传感装置用于检测气流通道的内部气流，所述传感装置包括微机电结构，所述烟杆具有所述气流通道，所述微机电结构包括：

振动膜；以及

背板，与所述振动膜相对设置以形成电容，所述背板具有至少一个通孔，所述背板与所述振动膜之间具有间隙，

其中，所述振动膜的第一表面与所述气流通道的内部连通，所述振动膜的第二表面经由所述间隙与外部大气连通，所述振动膜阻隔所述气流通道的内部与所述间隙连通，

所述振动膜在所述第一表面与所述第二表面的气压差的作用下发生形变，所述电容的容值变化至少表征所述气流通道内的气体流速。

5.根据权利要求4所述的电子烟，其特征在于，所述传感装置还包括：

芯片结构，与所述微机电结构电连接；以及

封装结构，包括封装外壳与基板，用于形成第一容置腔，所述微机电结构与所述芯片结构位于所述第一容置腔内，并固定在所述基板上，

其中，所述封装结构具有第一气孔与第二气孔，所述第一气孔分别与所述振动膜的第一表面和所述气流通道内部连通，所述第二气孔分别与所述间隙和所述外部大气连通。

6.根据权利要求5所述的电子烟，其特征在于，所述烟杆还具有第二容置腔，所述传感装置位于所述第二容置腔中。

7.根据权利要求6所述的电子烟，其特征在于，所述烟杆包括：

吸气管，所述吸气管的内部作为所述气流通道；以及

隔离件，位于所述吸气管外，与所述吸气管的管壁合围构成所述第二容置腔。

8.根据权利要求7所述的电子烟，其特征在于，所述吸气管的管壁具有第一开口，所述隔离件具有第二开口，

所述第一开口连通所述吸气管的内部与所述振动膜的第一表面，所述第二开口连通所述外部大气与所述间隙。

9.根据权利要求8所述的电子烟，其特征在于，所述基板位于所述隔离件上，所述封装外壳扣接在所述基板上，所述振动膜相对于所述背板更远离所述基板，

所述第一气孔贯穿所述封装外壳并连通所述第一开口，所述第二气孔贯穿所述基板并连通所述第二开口。

10.根据权利要求9所述的电子烟，其特征在于，所述传感装置还包括指示灯，与所述基板电连接，所述指示灯与所述微机电结构位于所述基板的不同侧，

其中，所述指示灯在所述电容的容值达到预设值的情况下经由所述隔离件上的透光区提供相应的指示光。