[实用新型]节能型退火炉

说明书

本实用新型公开了节能型退火炉，包括：退火炉本体，所述退火炉本体包括矩形外壳体和设置在矩形外壳体内表壁上的内保温砖层，所述退火炉本体上表面沿方向的中心处设置有分隔板机构，所述分隔板机构将退火炉本体分隔形成预热段和退火加热段，所述退火加热段的顶端导通连接有吸气罩。本实用新型中，该节能型退火炉，一方面可以对节能型退火炉排出的烟气进行余热利用，节约了热能，另一方面可以对原料进行预热，提高其受热的稳定性和加热的效率，其次分隔板机构，由凹型座、电动推杆和密封分隔板组成，通过电动推杆带动密封分隔板升降，可以控制预热段与退火加热段相互导通，便于原料通过预热段进入到退火加热段。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，尤其涉及节能型退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

目前现有的退火炉结构简单，缺少原料预热结构，原料输送到退火炉内直接加热，易因升温过快过高造成原料损坏，其次对于退火炉排出的高温烟气没有很好的余热回收结构，易导致热能浪费，故而满足不了使用者的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供节能型退火炉，在退火炉本体内部设置有分隔板机构，将退火炉本体分隔形成预热段和退火加热段，在使用的过程中，可以将退火加热段排出的烟气通过吸气罩、导管和排气管排入到预热段内，用于对原料进行预热，这样的结构设计，一方面可以对节能型退火炉排出的烟气进行余热利用，节约了热能，另一方面可以对原料进行预热，提高其受热的稳定性和加热的效率，其次分隔板机构，由凹型座、电动推杆和密封分隔板组成，通过电动推杆带动密封分隔板升降，可以控制预热段与退火加热段相互导通，便于原料通过预热段进入到退火加热段。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：节能型退火炉，包括：退火炉本体；

所述退火炉本体包括矩形外壳体和设置在矩形外壳体内表壁上的内保温砖层；

所述退火炉本体上表面沿方向的中心处设置有分隔板机构，所述分隔板机构将退火炉本体分隔形成预热段和退火加热段，所述退火加热段的顶端导通连接有吸气罩，且吸气罩上连接有导管，且导管远离吸气罩一端外表壁上连接有与预热段相互导通的排气管；

所述退火炉本体沿长度方向的两端分别开设有出料口和进料口，所述退火炉本体沿长度方向的两端外表壁上设置有密封机构。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述退火加热段沿长度方向的两侧外表壁上设置有燃烧器，所述退火加热段沿长度方向的两侧外表壁上位于燃烧器的上方固定有补风风机，且补风风机的出气管贯穿退火加热段延伸到内部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述分隔板机构包括凹型座、电动推杆和密封分隔板，所述凹型座螺栓固定在退火炉本体上表面，所述电动推杆嵌设安装座凹型座内部底板上，所述密封分隔板设置在凹型座的内部，所述电动推杆的底端与密封分隔板焊接固定，所述退火炉本体上表面开设有配合密封分隔板使用的条形孔洞。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述预热段沿长度方向两侧外表壁上到导通连接有出气管。

作为上述技术方案的进一步描述：