[实用新型]一种低温挥发材料封装排气设备

权利要求书

1.一种低温挥发材料封装排气设备，包括上模板（1），其特征在于：所述上模板（1）的底部外侧固定粘结装配有密封环（2），所述上模板（1）的顶部固定装配有真空板（3），所述真空板（3）的顶部中间固定装配有出气管（4），所述出气管（4）的顶端连接装配有导气管（7），所述出气管（4）的顶部固定装配有第一连接法兰（5），所述导气管（7）的底部固定装配有和第一连接法兰（5）相适配的第二连接法兰（8），且所述第一连接法兰（5）和第二连接法兰（8）之间固定装配有密封垫（9），所述第一连接法兰（5）、密封垫（9）和第二连接法兰（8）通过连接螺栓（10）固定装配，所述导气管（7）的顶端固定装配有真空泵（11），所述真空泵（11）的输出端固定装配有排气管（13），所述排气管（13）的另一端固定装配有泄压阀（14），所述导气管（7）上固定装配有真空阀（12），所述排气管（13）上固定装配有压力表（15），所述上模板（1）上开设有上下贯通的抽气通道（16），且所述抽气通道（16）和出气管（4）连通。

2.根据权利要求1所述的一种低温挥发材料封装排气设备，其特征在于：所述出气管（4）和导气管（7）的孔径相同，且所述出气管（4）的尺寸和抽气通道（16）的孔径相适配，且所述出气管（4）的底端固定装配在抽气通道（16）内。

3.根据权利要求1所述的一种低温挥发材料封装排气设备，其特征在于：所述第一连接法兰（5）和第二连接法兰（8）的尺寸相同，且所述密封垫（9）的尺寸和第一连接法兰（5）、第二连接法兰（8）相适配，且所述连接螺栓（10）由下至上依次穿过第一连接法兰（5）、密封垫（9）和第二连接法兰（8）。

4.根据权利要求1所述的一种低温挥发材料封装排气设备，其特征在于：所述真空阀（12）为电动真空阀，所述泄压阀为电动泄压阀。

5.根据权利要求1所述的一种低温挥发材料封装排气设备，其特征在于：所述真空板（3）与上模板（1）连接的一侧侧壁上开设有真空腔，且真空腔和抽气通道（16）连通，且所述出气管（4）的底端穿过真空腔后和抽气通道（16）固定装配连接。