[实用新型]基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备

权利要求书

1.基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备，其特征在于：包括用于初步结晶蚀刻废液的三效蒸发装置、连接三效蒸发装置的蒸汽出口的用于吸收清洗氨氮气体的洗气罐、连接洗气罐的冷凝器、连接三效蒸发装置的饱和晶浆液出口的用于初步固液分离的重结晶结晶器、连接重结晶结晶器用于将符合固含量要求的晶浆液进一步固液分离的悬液分离器，悬液分离器连接有用于晶浆液脱粒结晶的离心机。

2.根据权利要求1所述的基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备，其特征在于：所述悬液分离器连接有输送上清液回流至三效蒸发装置的回流管。

3.根据权利要求1所述的基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备，其特征在于：所述三效蒸发装置包括一效分离器、与一效分离器配合的一效加热器、连接一效分离器的二效分离器、与二效分离器配合的二效加热器、连接二效分离器的三效分离器、与三效分离器配合的三效加热器。

4.根据权利要求3所述的基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备，其特征在于：所述一效分离器顶部的蒸汽出口连接二效加热器，一效分离器底部的循环液出口连接二效分离器，一效加热器的前端连接有蚀刻废液进液口，二效分离器顶部的蒸汽出口连接三效加热器，二效分离器底部的循环液出口连接三效分离器，三效分离器的蒸汽出口连接洗气罐，三效分离器的循环液出口连接重结晶结晶器。

5.根据权利要求1所述的基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备，其特征在于：基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备还包括外置冷却装置，外置冷却装置包括连接冷凝器的冷凝水池、分别并联重结晶结晶器的双效重结晶换热器、连接悬液分离器和离心机之间的冷却釜、用于输送冷凝水池中冷凝水至双效重结晶换热器和冷却釜的冷凝水管道、以及回收双效重结晶换热器和冷却釜内冷凝水重新制冷的冷却水塔。

6.根据权利要求5所述的基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备，其特征在于：所述冷却水塔连接至冷凝水池。

7.根据权利要求5所述的基于三效蒸发装置用于蚀刻废液蒸发结晶设备，其特征在于：所述重结晶结晶器的顶部和重结晶换热器顶部之间设有循环双向管路。