[实用新型]气控微动平台装置

说明书

本实用新型涉及高精度定位及位移控制技术领域，提供了一种气控微动平台装置。该气控微动平台装置，包括比例调节阀和微动平台，比例调节阀包括阀体，阀体设有进气通道、支气通道和出气通道，进气通道通过喷嘴与支气通道连通，支气通道内设有活动铁芯，活动铁芯的第一端设有与喷嘴的出气口相适配的堵头，活动铁芯的第二端与微动平台连接，支气通道与出气通道连通。本实用新型通过向进气通道输送气体，并由喷嘴进入支气通道，实现对活动铁芯气动推动，进而实现对微动平台的位移，气体再由出气通道排出，通过调整进气流量，实现对微动平台位移量的控制，本装置结构简单，体积小，易于操作，采用闭环控制，消除环境因素影响，提高控制精度。

技术领域

本实用新型涉及高精度定位及位移控制技术领域，特别是涉及一种气控微动平台装置。

背景技术

微动平台是精密定位技术研究中的核心内容，当前在高精度控制、医疗仪器、精密机械、细胞生物学、光学定位等领域，都离不开高精度的定位技术。如今先进的定位技术已经可以实现微米及纳米级的精确定位，但通常都带有一定弊端，如实现难度大、成本高，精度受环境影响大，稳定性差，寿命短等。

现存的微动平台的驱动形式主要包括：压电式，例如输出位移精度10nm的压电陶瓷驱动的整体式柔顺精密定位平台，压电式传感器的缺点是压电材料需要防潮措施，而且输出的直流响应差，需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器；直线电机式，然而直线电机存在耗电量大、振动高、发热量大等缺点；还有机械控制式，但是纯机械控制的微动平台结构复杂，对加工精度要求较高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，为此，本实用新型提出一种气控微动平台装置，以解决现有微动平台实现难度大的问题。

根据本实用新型实施例的一种气控微动平台装置，包括比例调节阀和微动平台，所述比例调节阀包括阀体，所述阀体设有进气通道、支气通道和出气通道，所述进气通道通过喷嘴与所述支气通道连通，所述支气通道内设有活动铁芯，所述活动铁芯的第一端设有与所述喷嘴的出气口相适配的堵头，所述活动铁芯沿所述支气通道的轴线方向可滑动设置，所述活动铁芯的第二端与所述微动平台连接，所述支气通道与所述出气通道连通。

根据本实用新型实施例的气控微动平台装置，通过向进气通道输送气体，并由喷嘴进入支气通道，实现对活动铁芯气动推动，进而实现对微动平台的位移，气体再由出气通道排出，通过调整进气流量，实现对微动平台位移量的控制，本装置结构简单，体积小，易于操作，采用闭环控制，消除环境因素影响，提高控制精度。

根据本实用新型的一个实施例，所述活动铁芯的外侧套设有套筒，所述套筒的周侧绕设有电磁线圈，所述活动铁芯可沿所述套筒的轴线方向移动。

根据本实用新型的一个实施例，还包括控制电路，所述控制电路与所述电磁线圈连接。

根据本实用新型的一个实施例，所述进气通道设有第一压力传感器，所述出气通道设有第二压力传感器，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器均与所述控制电路连接。

根据本实用新型的一个实施例，所述进气通道连通有毛细管，所述毛细管的两端分别与所述进气通道连通，所述毛细管的两端分别缠绕有热敏电阻丝，两个所述热敏电阻丝均与所述控制电路连接。

根据本实用新型的一个实施例，所述堵头的第一端设有凹槽，所述活动铁芯的第一端插设在所述凹槽内，所述堵头的第二端设于所述喷嘴的出气口处。

根据本实用新型的一个实施例，所述活动铁芯的第一端设有与所述凹槽相适配的凸台，所述凸台上套设弹簧，所述弹簧的第一端卡设在所述支气通道内的卡台底侧，所述弹簧的第二端卡设在所述凹槽的侧壁的上端面。

根据本实用新型的一个实施例，所述套筒的两端分别设有向外延伸的卡缘，所述电磁线圈绕设在两个所述卡缘之间的所述套筒上。