[实用新型]一种硅晶棒自动分段夹持装置有效
申请号: | 202022207312.3 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213471768U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 张新峰 | 申请(专利权)人: | 如皋卓远中乌第三代半导体产业技术研究院(有限合伙) |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 孙腾 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅晶棒 自动 分段 夹持 装置 | ||
1.一种硅晶棒自动分段夹持装置,包括支架(1)、皮带(2)、驱动电机(3)和控制箱(4),其特征在于:所述控制箱(4)底端的两侧均安装有支架(1),所述支架(1)顶端的一侧安装有驱动电机(3),所述驱动电机(3)的外表面缠绕有皮带(2),所述控制箱(4)外壁一端的一侧安装有控制面板(5),所述控制箱(4)外壁的另一端安装有防护结构(7),所述控制箱(4)顶端的一侧安装有切割刀片(9),所述控制箱(4)顶端的另一侧安装有夹持结构(6),所述夹持结构(6)包括夹环(601)、活动块(602)、卡槽(603)、卡块(604)、支撑杆(605)、弹簧(606)、连接杆(607)和固定块(608),所述夹环(601)安装于控制箱(4)顶端的另一侧,所述夹环(601)的一侧安装有活动块(602),所述夹环(601)的另一侧安装有固定块(608),所述固定块(608)内部的两端均安装有弹簧(606),所述弹簧(606)的一端安装有连接杆(607),所述连接杆(607)的一端安装有支撑杆(605),所述支撑杆(605)底端的一侧安装有卡块(604),所述卡块(604)的底端安装有卡槽(603),所述夹持结构(6)的底端安装有位移结构(8)。
2.根据权利要求1所述的一种硅晶棒自动分段夹持装置,其特征在于:所述卡槽(603)的内径大于卡块(604)的外径,且卡块(604)与卡槽(603)之间构成卡合结构。
3.根据权利要求1所述的一种硅晶棒自动分段夹持装置,其特征在于:所述防护结构(7)包括固定栓(701)、防护板(702)、铰链(703)、固定杆(704)、插栓(705)和插槽(706),所述防护板(702)安装于控制箱(4)的另一端,所述防护板(702)内部顶端的两侧均贯穿有固定栓(701),所述防护板(702)底端的两侧均安装有铰链(703),所述防护板(702)两侧的中间位置处均安装有插槽(706),所述插槽(706)的内部贯穿有插栓(705),所述插栓(705)的一端安装有固定杆(704)。
4.根据权利要求3所述的一种硅晶棒自动分段夹持装置,其特征在于:所述固定栓(701)一共设置有两组,且固定栓(701)在防护板(702)的垂直中轴线上呈对称分布。
5.根据权利要求1所述的一种硅晶棒自动分段夹持装置,其特征在于:所述位移结构(8)包括齿条杆(801)、齿轮(802)、伺服电机(803)和滑槽(804),所述滑槽(804)安装于夹环(601)的底端,所述滑槽(804)内部的顶端安装有齿条杆(801),所述齿条杆(801)的底端安装有齿轮(802),所述齿轮(802)的外表面安装有伺服电机(803)。
6.根据权利要求5所述的一种硅晶棒自动分段夹持装置,其特征在于:所述齿轮(802)与齿条杆(801)之间相互啮合,所述齿条杆(801)在滑槽(804)内部构成滑动结构。
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