[实用新型]一种切割线传送装置及切片系统

权利要求书

1.一种切割线传送装置，其特征在于，包括轴承套、轴承、轴芯以及顶盖；所述轴承套上设有所述切割线的容纳空间，所述轴承套通过所述轴承转动安装在所述轴芯上；

所述轴承套具有第一开口和第二开口，所述顶盖盖设在所述第一开口上，所述轴芯的外壁与所述轴承套靠近所述第二开口的内壁形状匹配且两者间具有缝隙；沿着靠近所述第二开口的方向，所述轴承套的内壁匹配所述轴芯的部位的径向尺寸逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的切割线传送装置，其特征在于，沿着远离所述第一开口且靠近所述第二开口的方向，所述轴芯的外壁匹配所述轴承套的部位的径向尺寸逐渐增大。

3.根据权利要求1所述的切割线传送装置，其特征在于，所述轴承套匹配所述轴芯的部位为梯台内壁；所述轴芯的外壁匹配所述轴承套的部位为梯台结构。

4.根据权利要求1所述的切割线传送装置，其特征在于，所述轴芯的外壁匹配所述轴承套的部位具有至少一个凹槽；其中，

至少一个所述凹槽环绕所述轴芯；或，

至少一个所述凹槽开设在所述轴芯的局部。

5.根据权利要求1～4任一项所述的切割线传送装置，其特征在于，所述轴承套具有环绕所述第二开口的尾部防溅结构；其中，

所述尾部防溅结构具有用于容纳所述轴芯靠近所述第二开口的端部的开放容置空间，所述开放容置空间沿着远离所述第一开口的方向的径向尺寸逐渐增大。

6.根据权利要求1～4任一项所述的切割线传送装置，其特征在于，所述切割线传送装置还包括挡板，所述挡板套设在所述轴芯上；所述挡板位于所述轴承套外，所述挡板遮挡所述轴芯与所述轴承套之间的缝隙。

7.根据权利要求1～4任一项所述的切割线传送装置，其特征在于，所述切割线传送装置还包括垫圈，所述垫圈位于所述顶盖与所述轴承套之间。

8.根据权利要求1～4任一项所述的切割线传送装置，其特征在于，所述切割线传送装置还包括两个隔圈，所述轴承的外圈的两端各设置一个隔圈；和/或，

所述切割线传送装置还包括用于对所述轴承的内圈进行限位的压板，所述压板设在所述轴芯靠近第一开口的一端和所述轴承的内圈靠近第一开口的一端。

9.根据权利要求1～4任一项所述的切割线传送装置，其特征在于，所述轴承为具有防尘盖的轴承。

10.一种晶棒切片系统，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的切割线传送装置。