[实用新型]一种麦克风芯片及麦克风

权利要求书

1.一种麦克风芯片，包括相对且间隔设置的背板(3)和振膜(1)以及支承于所述背板(3)和所述振膜(1)之间的第一牺牲层(2)，所述第一牺牲层(2)具有第一释放边界(21)，所述第一释放边界(21)、所述背板(3)和所述振膜(1)围设形成有振荡声腔(6)，其特征在于，所述背板(3)呈平板状结构，所述背板(3)上设置连通所述振荡声腔(6)的声孔(33)，所述振膜(1)上设置有若干个离散的凹陷部(11)或凸起部(12)，所述凹陷部(11)或所述凸起部(12)正对所述振荡声腔(6)设置。

2.根据权利要求1所述的麦克风芯片，其特征在于，所述凹陷部(11)或所述凸起部(12)在所述背板(3)上的投影呈圆形或多边形。

3.根据权利要求2所述的麦克风芯片，其特征在于，所述圆形的半径为2-100um，所述多边形的边长为2-100um。

4.根据权利要求1所述的麦克风芯片，其特征在于，所述凹陷部(11)的凹陷深度为0-10um，或，所述凸起部(12)的凸出高度为0-10um。

5.根据权利要求1所述的麦克风芯片，其特征在于，相邻两个所述凹陷部(11)的最短距离为2-10um，或相邻两个所述凸起部(12)的最短距离为2-10um。

6.根据权利要求1所述的麦克风芯片，其特征在于，所述凹陷部(11)或所述凸起部(12)环绕所述振膜(1)的中心均匀间隔设置有多个。

7.根据权利要求1-6任一项所述的麦克风芯片，其特征在于，所述振膜(1)朝向所述背板(3)的一侧凸设有防粘凸起，所述防粘凸起与所述凹陷部(11)或所述凸起部(12)错位设置。

8.根据权利要求1-6任一项所述的麦克风芯片，其特征在于，所述振膜(1)上设置有贯通的泄气孔(13)。

9.根据权利要求1-6任一项所述的麦克风芯片，其特征在于，所述声孔(33)的位置和/或大小与所述凹陷部(11)或所述凸起部(12)一一对应。

10.一种麦克风，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的麦克风芯片。