[实用新型]真空腔室和舱门结构

权利要求书

1.一种舱门结构，包括设置在顶盖（1）上的加样孔（2）和盖装在所述加样孔（2）外侧的舱门（3），所述舱门（3）上设有凸起（4），其特征在于：所述凸起（4）在舱门（3）盖装在所述加样孔（2）上时向内延伸伸入所述加样孔（2），所述凸起（4）的内侧侧面与所述顶盖（1）的内侧侧面之间的间距小于加样靶板（5）的厚度。

2.根据权利要求1所述的舱门结构，其特征在于：所述舱门（3）的外侧设有把手机构，所述把手机构包括把手（6），所述把手（6）与所述舱门（3）之间设有限位安装机构，所述限位安装机构用于限定所述把手（6）与所述舱门（3）之间的最大间距、并使所述舱门（3）可相对于所述把手（6）在该最大间距范围内移动。

3.根据权利要求2所述的舱门结构，其特征在于：所述把手（6）与所述舱门（3）之间设有至少一个对所述舱门（3）施加向内的压力的压簧（7）。

4.根据权利要求3所述的舱门结构，其特征在于：所述把手（6）与所述舱门（3）之间分别对应设有第一压簧槽（8）和第二压簧槽（9），所述压簧（7）的两端分别安装在所述第一压簧槽（8）和第二压簧槽（9）内。

5.根据权利要求2所述的舱门结构，其特征在于：所述限位安装机构包括固定安装在所述舱门（3）外侧面上的连接块（10），所述连接块（10）的两端分别设有限位销（11）；所述把手（6）的内侧面上设有罩在所述连接块（10）外的安装槽（12），所述安装槽（12）的两侧壁上分别与所述限位销（11）对应设有限位孔（13）；所述限位销（11）上设有延伸伸入对应的所述限位孔（13）内的限位段（11a），所述限位孔（13）在垂直于所述舱门（3）外侧侧面的方向上的长度大于所述限位段（11a）的外径、并使所述限位段（11a）在垂直于所述舱门（3）外侧侧面的方向上可沿着所述限位孔（13）滑动。

6.根据权利要求5所述的舱门结构，其特征在于：所述限位孔（13）在平行于所述舱门（3）外侧侧面且垂直于所述限位销（11）轴线的方向上的长度大于所述限位段（11a）的外径、并使所述限位段（11a）在平行于所述舱门（3）外侧侧面且垂直于所述限位销（11）轴线的方向上可沿着所述限位孔（13）滑动。

7.根据权利要求5所述的舱门结构，其特征在于：所述连接块（10）的两端分别设有销孔（14），所述限位销（11）安装在对应的所述销孔（14）内，所述销孔（14）内设有用于将对应的所述限位销（11）朝向对应的所述限位孔（13）顶出的顶出弹簧（15）。

8.根据权利要求7所述的舱门结构，其特征在于：所述限位销（11）位于所述销孔（14）内的一段与所述限位孔（13）之间限位配合。

9.根据权利要求2-8任一项所述的舱门结构，其特征在于：所述把手机构包括固定安装在所述顶盖（1）上的铰接座（16），所述把手（6）的一端与所述铰接座（16）铰接连接。

10.根据权利要求9所述的舱门结构，其特征在于：所述把手（6）的另一端与所述顶盖（1）之间设有磁吸结构，所述磁吸结构包括磁铁和磁力传感器（17）。

11.根据权利要求9所述的舱门结构，其特征在于：所述铰接座（16）上设有第一拉簧轴（18），所述把手（6）内设有第二拉簧轴（19），所述第一拉簧轴（18）和第二拉簧轴（19）之间设有拉簧；在所述舱门（3）盖在所述加样孔（2）上时，所述把手（6）与所述铰接座（16）之间的铰接连接轴（21）位于所述第一拉簧轴（18）的外侧。

12.根据权利要求2-8任一项所述的舱门结构，其特征在于：所述把手（6）和所述舱门（3）之间的最大间距与所述凸起（4）的内侧侧面和所述顶盖（1）的内侧侧面之间的间距之和小于加样靶板（5）的厚度。