[实用新型]基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器及流量计

权利要求书

1.一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，用于与任何一种节流装置、以及外置温度传感器连接，所述外置温度传感器通过插在管道内介质中的热电阻，用于采集所述管道的温度信号；

所述多变量气体质量流量变送器包括：壳体，以及设置在所述壳体内的MEMS差压传感器、MEMS压力传感器、主板和传感器板；

所述MEMS差压传感器用于采集节流装置的差压信号；

所述MEMS压力传感器用于采集所述管道内介质的压力信号和其所在位置的环境温度信号；

所述MEMS差压传感器、所述MEMS压力传感器和所述外置温度传感器分别与所述传感器板电性连接，所述主板和所述传感器板电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述主板上设有第二CPU芯片，所述传感器板上设有第一CPU芯片；

所述第一CPU芯片用于采集所述差压、压力和温度信号，进行滤波和线性插值处理；

所述第二CPU芯片用于根据采集的信号进行质量流量计算，将多变量信号通过LCD屏幕显示以及通过HART总线方式输出，并将计算的气体瞬时质量流量通过4～20mA输出。

3.根据权利要求2所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述多变量气体质量流量变送器还包括显示模块和接线端子模块；

所述壳体内部形成有相对的显示腔和接线腔，所述显示模块设置于所述显示腔，用于显示多变量参数和菜单输入；

所述接线端子模块设置于所述接线腔，所述主板分别与所述显示模块和所述接线端子模块电性连接。

4.根据权利要求3所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述接线端子模块包括二线制接口和外接温度接口，所述二线制接口用于模拟输出、供电和通信。

5.根据权利要求3所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述壳体内部还形成有连接腔，所述连接腔位于所述显示腔和所述接线腔的下方，所述MEMS差压传感器、所述MEMS压力传感器和所述主板均设置于所述连接腔。

6.根据权利要求5所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述多变量气体质量流量变送器还包括导压管，所述壳体内部还形成有型腔，所述型腔与所述连接腔连通，所述导压管穿设在所述型腔内部，且所述导压管的输出端朝向所述连接腔内的所述MEMS差压传感器以及所述MEMS压力传感器。

7.根据权利要求6所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述多变量气体质量流量变送器还包括连接件，所述连接件用于连接所述型腔与任何一种所述节流装置。

8.根据权利要求7所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述连接件包括椭圆法兰，所述椭圆法兰用于连接所述任何一种节流装置的引压管。

9.根据权利要求8所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述连接件还包括工型连接器，所述椭圆法兰通过所述工型连接器与所述型腔连接。

10.根据权利要求8所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器，其特征在于，所述多变量气体质量流量变送器还包括用于变送器输出的二根线，所述输出的二根线与所述主板电性连接，并用于输出4～20mA模拟信号和全部数字信号，其中，所述模拟信号包括瞬时流量，所述数字信号包括瞬时流量、累积流量、差压、压力、温度、仪表温度和流量的百分数。

11.一种差压式气体质量流量计，其特征在于，包括：

节流装置，用于在待测管道中产生差压；和

如权利要求1至10任意一项所述的一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器。

12.根据权利要求11所述的一种差压式气体质量流量计，所述节流装置包括孔板节流装置、喷嘴节流装置、文丘里节流装置、V锥节流装置、弯管节流装置、契形节流装置或巴式节流装置。