[实用新型]一种可防止酸料分层的混酸装置

说明书

本实用新型公开了一种可防止酸料分层的混酸装置，涉及半导体生产加工用相关设备技术领域。本实用新型包括密封机构，密封机构包括密封箱、外螺纹块和内螺纹环，密封箱内中部连接有混料机构，且混料机构包括安装架、U型架、第一混料箱、第二混料箱和第三混料箱，U型架螺纹连接于安装架内两侧下部以及其内一端中部，第一混料箱滑动连接于安装架内一端中部的U型架内侧中部，且第二混料箱、第三混料箱依次滑动连接于安装架内两侧下部的U型架内中部，第二混料箱、第三混料箱通过其内侧中部设置的隔膜泵贯穿连接。本实用新型通过设置密封机构和混料机构结构，具有降低使用成本，便于使用的优点。

技术领域

本实用新型属于半导体生产加工用相关设备技术领域，特别是涉及一种可防止酸料分层的混酸装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，而混酸装置则是用于半导体进行蚀刻的重要设备，目前，混酸装置的氯化氢、浓氨水以及氢氟酸具备一定的挥发性，造成成本的增加，影响半导体蚀刻的效果，且混酸装置在进行混酸的过程中，一般采用电机搅拌的方式，用于避免酸料分层现象，搅拌机构易损坏且占用部分空间，局限性较大，因此有必要进行改进，以解决上述问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可防止酸料分层的混酸装置，通过设置密封机构和混料机构，解决了现有混酸装置的氯化氢、浓氨水以及氢氟酸具备一定的挥发性，造成成本的增加，影响半导体蚀刻的效果，且混酸装置在进行混酸的过程中，一般采用电机搅拌的方式，用于避免酸料分层现象，搅拌机构易损坏且占用部分空间的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种可防止酸料分层的混酸装置，包括密封机构，所述密封机构包括密封箱、外螺纹块和内螺纹环，且内螺纹环内侧与密封箱内端中部焊接的外螺纹块外侧螺纹连接，所述密封箱内中部连接有混料机构，且混料机构包括安装架、U型架、第一混料箱、第二混料箱和第三混料箱，所述U型架螺纹连接于安装架内两侧下部以及其内一端中部，所述第一混料箱滑动连接于安装架内一端中部的U型架内侧中部，且第二混料箱、第三混料箱依次滑动连接于安装架内两侧下部的U型架内中部，所述第二混料箱、第三混料箱通过其内侧中部设置的隔膜泵贯穿连接，且第二混料箱、第三混料箱呈水平设置，所述第一混料箱、第二混料箱呈高低设置，所述安装架内两侧中部开设有导向槽，且导向槽内中部滑动连接有导向块，导向槽一侧端部呈向内凸起设置，将导向槽一侧端部呈向内凸起设置，避免导向块发生脱落损坏，并由导向块在导向槽内中部的滑动作业，用于混料机构结构的连接固定以及拆装位移作业，所述导向块通过前端中部设置的螺杆与第一混料箱、第二混料箱和第三混料箱螺纹连接，且螺杆一端贯穿导向块与导向槽内中部螺纹连接，第一混料箱、第二混料箱和第三混料箱之间通过导向管贯穿连接，由螺杆进行第一混料箱、第二混料箱和第三混料箱结构的连接，将螺杆一端贯穿导向块与导向槽内中部螺纹连接，避免第一混料箱、第二混料箱和第三混料箱之间不同高度的定位，有助于酸料的混酸作业。

进一步地，所述密封箱底端两侧中部通过紧固螺栓螺纹连接有支撑块，且密封箱上中部螺纹连接有密封板，密封箱正表面上下部中部开设的通口内部镶嵌连接有观察窗，由紧固螺栓用于支撑块结构的连接，由其与地面的摩擦基础，提升该装置的稳定性，并由密封板进行密封箱内部零部件的拆装，由观察窗进行其内部的过滤状态。

进一步地，所述密封箱一侧上中部以及另一侧下中部均开设有螺口，且螺口内前端螺纹连接有螺纹通管，螺纹通管前端通过卡箍连接有输送管，由螺口对螺纹通管进行结构连接，并由卡箍进行输送管结构的连接，通过输送管由螺纹通管进行外界酸料成分的输送。

进一步地，所述安装架分别通过第一定位螺栓、第二定位螺栓与密封箱、U型架之间螺纹连接，且第一定位螺栓设置于密封箱前后端上下部，第二定位螺栓设置于安装架两侧一端以及其后中部，由第一定位螺栓、第二定位螺栓用于安装架与密封箱、U型架之间结构的连接，采用螺纹连接的方式，便于对其进行结构拆装检修。