[实用新型]环形光斑制造装置和激光加工装置

权利要求书

1.一种环形光斑制造装置，其特征在于，包括：

分光模块，以将准直光束分束为第一光束和第二光束；

环形光路模块，包括锥透镜组件，以将所述第一光束转换为环状光束；

中心光路模块，包括缩束模块，以调整所述第二光束的大小，形成中心光束；

光路调整模块，包括合束模块，以将所述环状光束和所述中心光束合束为第三光束，且所述中心光束位于所述环状光束的中心；以及

聚焦镜，以聚焦所述第三光束，形成环形光斑。

2.根据权利要求1所述的环形光斑制造装置，其特征在于，

所述锥透镜组件包括第一锥透镜和第二锥透镜，所述第一锥透镜的锥面和所述第二锥透镜的锥面相对布置。

3.根据权利要求1所述的环形光斑制造装置，其特征在于，

所述环形光路模块还包括第一功率调整模块，设于所述锥透镜组件和所述分光模块之间，以调整所述第一光束的功率。

4.根据权利要求3所述的环形光斑制造装置，其特征在于，

所述中心光路模块还包括第二功率调整模块，以调整所述第二光束的功率。

5.根据权利要求1所述的环形光斑制造装置，其特征在于，

所述合束模块包括处于中心的透射区域和环绕于所述透射区域的反射区域。

6.根据权利要求5所述的环形光斑制造装置，其特征在于，

所述光路调整模块包括反射镜组；

所述中心光路模块处于所述合束模块的上方，所述中心光束穿透所述合束模块的透射区域；

所述反射镜组设于所述合束模块的侧方，以使得所述环状光束由所述合束模块的侧方射至所述合束模块的反射区域。

7.根据权利要求6所述的环形光斑制造装置，其特征在于，

所述反射镜组包括第一反射镜和第二反射镜；

所述环形光路模块设于合束模块的侧方，且转换的所述环状光束沿垂直于所述中心光束的方向发射；

所述第一反射镜和所述第二反射镜倾斜设置，以将所述环状光束的发射方向逆向，朝向所述合束模块反射。

8.根据权利要求1所述的环形光斑制造装置，其特征在于，

所述光路调整模块还包括发散角调节模块，设于所述合束模块和所述环形光路模块之间。

9.根据权利要求1所述的环形光斑制造装置，其特征在于，

所述环形光斑制造装置还包括准直镜，设于所述分光模块上游，为所述分光模块提供准直光束。

10.一种激光加工装置，其特征在于，包括：

光束源；以及

权利要求1-9任意一项所述的环形光斑制造装置；

所述光束源提供光束，经过所述环形光斑制造装置转换，形成环形光斑。