[实用新型]一种抗振分子泵

说明书

本实用新型提供的一种抗振分子泵，属于分子泵技术领域，包括：泵体,内部具有贯通的轴孔,轴孔的两端分别连接有第一挡盖和第二挡盖；主轴，外壁上间隔地套接有上径向轴承和下径向轴承，通过上径向轴承和下径向轴承转动连接在轴孔内；上径向轴承的顶端通过第一减振垫与第一挡盖抵接，第一减振垫与上径向轴承的顶端之间设有导热弹片；上径向轴承的外圈与泵体之间设有第二减振垫，第二减振垫与导热弹片抵接；下径向轴承的底端通过缓冲组件与第二挡盖抵接，下径向轴承的外圈与泵体之间设有第三减振垫。本实用新型的第一减振垫、第二减振垫、第三减振垫以及缓冲组件的设置，增强了分子泵轴向与径向的抗振能力，还增强了主轴及上径向轴承的散热能力。

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种抗振分子泵。

背景技术

涡轮分子泵是一种主流的真空获得设备，具有抽速稳定、节能高效、洁净度高、使用维护简单等优点，广泛用于实验分析、核物理研究、质谱分析、晶体炉设备和分子束外延等领域。

涡轮分子泵是一种通过高速旋转的动叶片将动量传递给气体分子以使气体分子产生定向流动的传输式分子泵，分子泵的转速对抽气性能有着至关重要的作用。但是一些便携式仪器和车载仪器等应用环境十分恶劣，不仅抽气性能要求高，而且振动和冲击强，分子泵必须能够承受很高的环境振动。现有的分子泵不能兼顾抽气性能和抗振动能力，导致性能不足或者易发生故障。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵不能兼顾抽气性能和抗振动能力，在振动和冲击强的应用环境下容易导致性能不足、易发生故障的缺陷，从而提供一种抗振分子泵。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的抗振分子泵，包括：

泵体,内部具有贯通的轴孔,所述轴孔的两端分别连接有第一挡盖和第二挡盖；

主轴，外壁上间隔地套接有上径向轴承和下径向轴承，通过所述上径向轴承和所述下径向轴承转动连接在所述轴孔内；

所述上径向轴承的顶端通过第一减振垫与所述第一挡盖抵接，所述第一减振垫与所述上径向轴承的顶端之间设有导热弹片；所述上径向轴承的外圈与所述泵体之间设有第二减振垫，所述第二减振垫与所述导热弹片抵接；

所述下径向轴承的底端通过缓冲组件与所述第二挡盖抵接，所述下径向轴承的外圈通过轴承座与所述泵体抵接,所述轴承座与所述下径向轴承之间设有第三减振垫。

作为优选方案，所述缓冲组件包括：

轴承推块，设于所述第二挡盖与所述下径向轴承的底端之间，且与所述轴承座滑动连接，所述轴承推块具有沿所述主轴轴线设置的容纳槽和适于与所述下径向轴承抵接的端面；

弹性件，设置在所述轴承推块的容纳腔内，一端与所述轴承推块连接，另一端与所述第二挡盖连接，提供使所述轴承推块与所述下径向轴承抵接的保持力。

作为优选方案，所述轴承推块的外壁与所述轴承座之间设有第四减振垫。

作为优选方案，所述第四减振垫具有间隔设置的至少两个。

作为优选方案，所述第四减振垫为橡胶材质。

作为优选方案，所述第一减振垫、所述第二减振垫以及所述第三减振垫均为橡胶材质。

作为优选方案，所述主轴为阶梯轴，具有与所述上径向轴承的底端抵接的第一承接面和与所述下径向轴承的顶端抵接的第二承接面。

作为优选方案，还包括：

泵壳；

静片，具有多个，间隔地连接在所述泵壳内；

涡轮转子，通过所述主轴转动设于所述泵壳内，所述涡轮转子的周向上具有多个间隔设置的动片，所述动片与所述静片上下交替设置。