[实用新型]一种夹具以及夹具组件

说明书

本实用新型属于工装夹具领域，公开了提供一种夹具，包括：托盘，所述托盘上设置有承载部，所述承载部一面设有容置腔，所述容置腔用于置放待加工元件；另一面设有工艺窗口，所述工艺窗口用于裸露出所述待加工元件的待加工面；以及一端设置在所述托盘上的夹持部，所述夹持部的另一端可移动至所述容置腔处以将所述待加工元件固定在所述容置腔内，无需使用其他工具来固定所述待加工元件，避免安装固定过程可能对所述待加工元件造成的损伤，且安装过程中，无需接触到待加工面，以保障所述待加工元件在安装过程中无损伤，保障元件制备的成品率。

技术领域

本实用新型涉及工装夹具领域，尤其是一种夹具以及夹具组件。

背景技术

在元件(例如：衬底)处理过程中，需经过多项工艺处理，需先将待加工元件固定在夹具上，并送进相应设备中进行处理，以完成元件的加工处理。

现有技术中，使用到的夹具，需使用工具才能将待加工元件固定在夹具上(例如：通过螺钉固定)，安装工序繁琐，且安装过程接触待加工元件的表面还会对待加工元件造成一定程度的损伤，从而影响后续的工艺，从而无法保障元件制备的成品率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种夹具，解决了现有技术中固定待加工元件需用到工具且安装过程接触到待加工元件的表面导致待加工元件造成损伤，从而无法保障元件制备的成品率这一技术问题，实现了元件的稳定制备。

为解决上述问题，本实用新型提供一种夹具，包括：

托盘，所述托盘上设置有承载部，所述承载部一面设有容置腔，所述容置腔用于置放待加工元件；另一面设有工艺窗口，所述工艺窗口用于裸露出所述待加工元件的待加工面；

以及一端设置在所述托盘上的夹持部，所述夹持部的另一端可移动至所述容置腔处以将所述待加工元件固定在所述容置腔内。

根据上述的夹具，所述夹持部的另一端设置有支撑件，所述支撑件用于支撑所述待加工元件。

根据上述的夹具，所述支撑件可拆卸连接于所述托盘。

根据上述的夹具，

所述容置腔的内壁上设置有限位台，所述夹持部的另一端移动至所述容置腔处时，所述限位台与所述夹持部的另一端相配合以夹紧所述待加工元件。

根据上述的夹具，所述承载部的一面还设置有与所述容置腔连通的拾取槽，所述拾取槽的槽底不高于所述限位台。

根据上述的夹具，所述夹持部还包括：

伸缩件，所述伸缩件的一端可旋转的设置在所述托盘上；

所述支撑件的一端与所述伸缩件的另一端相连接。

本实用新型还提供一种夹具组件，包括：

托盘，所述托盘上设置有承载组件，所述承载组件包括至少两个承载部，所述承载部的一面均设有容置腔，另一面均设有工艺窗口，所述容置腔用于容置待加工元件，所述工艺窗口用于裸露出所述待加工元件的加工面；

以及夹持组件，所述夹持组件包括至少两个夹持部，所述夹持部的一端设置在所述托盘上，所述夹持部的另一端可移动至所述容置腔处以将所述待加工元件固定在所述容置腔内。

根据上述的夹具组件，包括：所述夹持部与所述承载部一一对应，且所述至少两个夹持部的另一端可同步的移动至与所述夹持部相对应的所述承载部上设置的所述容置腔处。

根据上述的夹具组件，所述夹持组件包括：

至少两个支撑件以及伸缩件，所述伸缩件的一端可旋转的设置在所述托盘上，所述至少两个支撑件的一端均与所述伸缩件固定连接。