[实用新型]一种用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统有效
申请号: | 202022220865.2 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN214020071U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 陈箫箫 | 申请(专利权)人: | 亚芯半导体材料(江苏)有限公司 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/68 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 赵慧 |
地址: | 213000 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 高纯 体制 尾气 处理 系统 | ||
1.一种用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,其特征在于,包括:
尾气接收装置,用于连接高纯钨坯体制备设备以接收尾气,并运输尾气;
碱式喷淋装置,用于接收尾气接收装置输出的尾气,并向尾气喷淋碱液,生成氟化钙沉淀物;和
燃烧装置,连接碱式喷淋装置,用于燃烧经碱式喷淋装置喷淋后尾气中残余氢气,以生成水蒸气高空排放;以及
沉淀物回收装置,用于回收碱式喷淋装置生成的氟化钙沉淀物。
2.如权利要求1所述的用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,其特征在于,
所述尾气接收装置包括:连接高纯钨坯体制备设备的尾气回收仓;
所述尾气回收仓适于通入高纯钨坯体制备设备生成的尾气,并将尾气输送至碱式喷淋装置。
3.如权利要求2所述的用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,其特征在于,
所述碱式喷淋装置包括:连接所述尾气回收仓的碱式喷淋塔、氢氧化钙溶液储存罐;
所述碱式喷淋塔顶部设置有连接氢氧化钙溶液储存罐的喷淋头,即
尾气通入碱式喷淋塔后,所述氢氧化钙溶液储存罐中氢氧化钙溶液通过喷淋头喷向尾气,以去除尾气中氟化氢和相应有害氟化物,并生成氟化钙沉淀物。
4.如权利要求3所述的用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,其特征在于,
所述碱式喷淋塔内壁轴向方向开设有若干导流槽,以使碱式喷淋塔内壁上喷淋的氢氧化钙溶液沿导流槽流至碱式喷淋塔底部。
5.如权利要求4所述的用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,其特征在于,
所述碱式喷淋塔底部开设有若干通孔,且各通孔连接废液接收罐。
6.如权利要求5所述的用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,其特征在于,
所述废液接收罐中设置有活性炭,用于吸附废液中颗粒物。
7.如权利要求3所述的用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,其特征在于,
所述燃烧装置包括:连接碱式喷淋塔的闭式燃烧塔;
所述闭式燃烧塔适于燃烧经喷淋后尾气中残余氢气,以生成水蒸气高空排放。
8.如权利要求1所述的用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,其特征在于,
所述沉淀物回收装置包括:氟化钙沉淀物回收仓;
所述氟化钙沉淀物回收仓适于储存氟化钙沉淀物。
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