[实用新型]真空磁控溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种真空磁控溅射镀膜装置，包括真空室，所述真空室内设置加热器，所述真空室的底部设置有冷凝组件，其特征在于，所述加热器与所述冷凝组件之间设置能够反射热辐射的反射组件，所述反射组件包括基板和挡板，所述基板上开设有第一通孔，所述挡板设置在所述基板与所述加热器之间，所述挡板与所述基板间隔，所述挡板的竖直方向的投影遮挡所述第一通孔，所述挡板与所述基板之间形成通道，所述通道与所述第一通孔连通，水蒸汽依次通过所述通道、所述第一通孔与所述冷凝组件进行热交换。

2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述挡板的尺寸大于所述第一通孔的尺寸。

3.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述基板上开设有多个所述第一通孔；

多个所述第一通孔通过至少一个所述挡板遮挡；或，对应每个所述第一通孔设置一个所述挡板。

4.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述挡板与所述基板之间设置支撑件，所述支撑件的两端分别与所述挡板和所述基板连接。

5.根据权利要求4所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述支撑件包括支撑柱，所述支撑柱的两端分别开设有螺纹孔，所述挡板和所述基板均开设有与所述螺纹孔对应的第二通孔，螺钉穿过所述第二通孔旋拧在所述螺纹孔内，以将所述挡板、所述支撑柱和所述基板三者连接在一起。

6.根据权利要求4所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述支撑件包括套筒和螺杆，所述套筒内设置有螺纹，所述螺杆的端部能够旋拧到所述套筒内，所述套筒和所述螺杆中的一个与所述基板连接，所述套筒和所述螺杆中的另一个与所述挡板连接，所述螺杆能够绕自身轴线转动。

7.根据权利要求6所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述套筒的下端与所述基板固定连接，所述螺杆的上端设置限位板，所述螺杆的非端部位置旋拧有限位螺母，所述挡板上开设有第二通孔，所述螺杆穿过所述第二通孔，所述限位板和所述限位螺母分别位于所述挡板的上下两侧，且所述限位板和所述限位螺母的尺寸均大于所述第二通孔的尺寸，所述螺杆的下端旋拧在所述套筒的内部。

8.根据权利要求1至7任一项所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述真空室的底部朝向外部凹设有凹槽，所述冷凝组件包括冷却板，所述冷却板内设置有冷却剂或冷却气体，所述冷却板设置在所述凹槽内，所述第一通孔正对所述凹槽的槽口，所述基板与所述真空室的底部间隔。

9.根据权利要求8所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述冷却板倾斜设置。

10.根据权利要求1至7任一项所述的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于,所述基板的边缘与所述真空室的内壁间隔设置。