[实用新型]一种双轨式3D量测仪

说明书

本实用新型涉及一种双轨式3D量测仪，包括机台，所述机台内设置有工作台，所述工作台上两对平行的轨道，所述工作台上设置有驱动轨道滚动的轨道驱动装置，所述工作台上还垂直设置有两块侧板，两块侧板上均设置有一条竖轨，所述竖轨上滑动设置有相机滑块，其中至少一条侧板上设置有用于驱动相机滑块滑动的纵向驱动装置，所述相机滑块上固定设置有检测装置。该平面度检测仪实现了自动化的检测，检测过程中无需人工参与，大大提高了效率，同时，也使得精确度进一步的提高。

技术领域

本实用新型涉及检测装置领域，具体涉及一种双轨式3D量测仪。

背景技术

芯片生产厂家在生产完产品后，必须要对产品做全部检测的流程。因为生产厂家的客户在验收客户产品的时候会同样做产品的全部检测。如果在检测过程中，有千分之三的不合格产品，则生产厂家的客户就会全部退货。这样会导致生产厂家在经济和时间上的巨大损失。同时也会使客户对生产厂家的质量控制体系产生不信任。目前生产厂家的检测流程是完全通过人工配合一些量检具在做检测，无论从效率和准确率上，都远远不能达到要求，同时生产厂家的产量越大，在检测环节出现的问题就越大。这对生产厂家来说是必须突破的瓶颈。

现有技术中，也有通过机械装置进行检测的方法，但是其检测精度一般只能达到0.02毫米；并且由于检测过程中操作人员需涉入判断，当需要对多工件进行连续检测时，容易造成操作人员的劳动强度过高而产生疲劳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于设计一种双轨式3D量测仪，该装置能够对芯片进行自动化的检测，同时，能够达到更大的效率和精度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种双轨式3D量测仪，包括机台，所述机台内设置有工作台，所述工作台上两对平行的轨道，所述工作台上设置有驱动轨道滚动的轨道驱动装置，

所述工作台上还垂直设置有两块侧板，两块侧板上均设置有一条竖轨，所述竖轨上滑动设置有相机滑块，其中至少一条侧板上设置有用于驱动相机滑块滑动的纵向驱动装置，所述相机滑块上固定设置有检测装置。

进一步的，所述相机滑块上设置有横轨，所述横轨上滑动设置有相机安装板，所述检测装置固定安装于相机安装板上，同时，所述相机滑块上设置有用于驱动相机安装板滑动的相机滑动驱动装置。

进一步的，所述轨道驱动装置为电机，与电机输出轴相连的主动皮带轮，通过皮带与主动皮带轮相连的被动皮带轮，且每对轨道中均设置有两个轨道驱动装置。

进一步的，每对轨道中间均设置有顶升暂停装置。

进一步的，所述顶升暂停装置为顶升气缸以及与顶升气缸相连的顶升板。

进一步的，所述纵向驱动装置以及相机滑动驱动装置为直线电机，且其中纵向驱动装置包括两个，分别设置于两块侧板上。

进一步的，所述检测装置包括激光器以及工业相机。

进一步的，所述检测装置还包括辅助光源。

进一步的，所述横轨的两侧均设置有止滑块。

进一步的，所述竖轨的两侧均设置有一止滑块。

本实用新型所述一种双轨式3D量测仪优点在于：

1、该3D量测仪实现了自动化的检测，检测过程中无需人工参与，大大提高了效率，同时，也使得精确度进一步的提高。

2、该3D量测仪采用双轨式结构，使得在检测一个的同时，另一个可以进行进行处理，从而减少了等待时间，大大提高了工作效率。

3、该3D量测仪通过设置激光器和工业相机两个检测元件，有效的实现FPC平面度、平行度、翘曲度、坐标位置的测量，同时，还能够实现二维码读取、FPCPCB外形尺寸、涨缩的功能。

附图说明