[实用新型]硅片上料抓取装置

权利要求书

1.一种硅片上料抓取装置，其特征在于：包括机台(1)、硅片花篮(2)、硅片抬升机构(3)、硅片对齐机构(4)、双移动座线性模组(5)、硅片抓取机构(6)、传感器(7)、花篮移动机构(8)，所述机台(1)上安装有花篮移动机构(8)，花篮移动机构(8)上连接有硅片花篮(2)，机台(1)下方设有硅片抬升机构(3)，机台(1)的台面上设有用于穿过硅片抬升机构(3)的穿孔，机台(1)上安装有硅片对齐机构(4)和双移动座线性模组(5)，双移动座线性模组(5)位于硅片对齐机构(4)上方，双移动座线性模组(5)的两个滑座上分别安装有硅片抓取机构(6)，硅片花篮(2)上安装有传感器(7)。

2.根据权利要求1所述的硅片上料抓取装置，其特征在于：所述硅片抬升机构(3)由硅片顶板组一(31)、连接架一(32)、连接架一升降线性模组(33)组成，连接架一升降线性模组(33)的滑座上固定有两个以上的连接架一(32)，每个连接架一(32)上固定有硅片顶板组一(31)，硅片顶板组一(31)由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。

3.根据权利要求1所述的硅片上料抓取装置，其特征在于：所述硅片对齐机构(4)由硅片顶板组二(41)、连接架二(42)、缸体(43)、电机、同步轮、同步带、滑座组成，缸体固定在机台(1)上，缸体上滑配连接有两个滑座，两个滑座上分别固定有两个连接架二(42)，连接架二(42)上固定有硅片顶板组二(41)，硅片顶板组二(41)由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶，电机的机体固定在缸体上，缸体上转动连接有两个同步轮，电机的输出轴固定在一个同步轮上，两个同步轮均啮合在同步带上，两个滑座分别固定在同步带两侧。

4.根据权利要求1所述的硅片上料抓取装置，其特征在于：所述双移动座线性模组(5)由模组缸体、两个滑座、两根丝杆、两个丝杆旋转电机组成，模组缸体固定在机台(1)上，两个丝杆旋转电机分别固定在模组缸体两端，模组缸体内转动连接有两根相互平行的丝杆，两根丝杆端头分别固定在两个丝杆旋转电机的输出轴上，两个丝杆上均螺纹连接有滚珠螺母，两个滚珠螺母分别固定在两个滑座上。

5.根据权利要求1所述的硅片上料抓取装置，其特征在于：所述硅片抓取机构(6)由吸板升降线性模组(61)、吸板水平线性模组(62)、吸板(63)组成，吸板升降线性模组(61)的缸体固定在双移动座线性模组(5)的滑座上，吸板升降线性模组(61)的滑座上固定有吸板水平线性模组(62)，吸板水平线性模组(62)的滑座上固定有数个相互平行且排列呈直线的吸板(63)，吸板(63)上设有吸孔，吸板(63)底部固定有凸起块，凸起块固定在吸板水平线性模组(62)的滑座上，相邻吸板(63)的凸起块贴合在一起。

6.根据权利要求1所述的硅片上料抓取装置，其特征在于：所述传感器(7)为对射传感器，传感器(7)分别安装在硅片花篮(2)的两侧板上。

7.根据权利要求1所述的硅片上料抓取装置，其特征在于：所述花篮移动机构(8)为水平线性模组，硅片花篮(2)固定在花篮移动机构(8)的滑座上，花篮移动机构(8)的缸体固定在机台(1)上。