[实用新型]可缓存的硅片运送系统有效

专利信息
申请号: 202022239970.0 申请日: 2020-10-10
公开(公告)号: CN212934575U 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 谢立平;林锐;李唐 申请(专利权)人: 昆山莱崎龙精密技术有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 王健
地址: 215316 江苏省苏州市昆山市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 缓存 硅片 运送 系统
【权利要求书】:

1.一种可缓存的硅片运送系统,其特征在于:包括安装于机架上的底板(1)、支座(2)、传输电机(3)和对称设置于支座(2)两侧的传输皮带(4),所述支座(2)安装于底板(1)的上表面上,用于驱动所述传输皮带(4)的传输电机(3)安装于支座(2)上,用于传输料片(36)的所述传输皮带(4)沿运料方向设置;

所述传输电机(3)的输出轴上安装有一主驱动轮(5),所述支座(2)上转动安装有一第一转轴(6),此第一转轴(6)的两端分别自支座(2)两侧向外伸出,位于主驱动轮(5)同侧的第一转轴(6)一端上安装有一从驱动轮(7),此从驱动轮(7)与主驱动轮(5)通过同步带传动连接;

所述第一转轴(6)上并位于支座(2)两侧分别安装有一第一转轮(8),所述支座(2)的两侧分别转动安装有若干个第二转轮(9),一活动板(24)可滑动地安装于支座(2)上方并可沿运料方向往复运动,此活动板(24)靠近来料区一端的两个侧端面上分别安装有一可转动的第三转轮(25),位于支座(2)同一侧的第一转轮(8)、第二转轮(9)、第三转轮(25)通过传输皮带(4)传动连接,所述第三转轮(25)的上表面与同侧的一个第二转轮(9)的上表面齐平,使得连接于上表面齐平的第三转轮(25)与第二转轮(9)之间的传输皮带(4)呈可供与料片接触的水平传输面;

所述支座(2)上可滑动地安装有一活动块(26),此活动块(26)的上表面与活动板(24)远离第三转轮(25)一端的下表面连接,使得该活动块(26)与活动板(24)同步运动,所述活动块(26)的一个侧端面上安装有一可转动的支撑轮(27),此支撑轮(27)与同侧的第一转轮(8)、第二转轮(9)、第三转轮(25)通过传输皮带(4)传动连接,所述支撑轮(27)与传输皮带(4)的一表面接触,所述第三转轮(25)与传输皮带(4)的另一表面接触;

所述传输皮带(4)的外侧分别设置有一立板(31),两个所述立板(31)面对面平行设置,两个立板(31)各自与另一个立板(31)相对的内表面上具有若干个沿竖直方向间隔设置的第二凸条(32),从而在相邻第二凸条(32)间形成一凹槽,并在相对形成于两个立板(31)上的凹槽之间形成一供料片(36)嵌入的置物区;

两个所述立板(31)的上端面之间通过一顶支撑板(33)连接,一驱动组件(34)与两个立板(31)中的至少一个连接,用于驱动两个立板(31)沿竖直方向同步运动。

2.根据权利要求1所述的可缓存的硅片运送系统,其特征在于:所述支座(2)一侧安装有两个通过驱动皮带(28)连接的驱动转轮(29),其中一个驱动转轮(29)与一安装于支座(2)上的电机的输出轴连接。

3.根据权利要求2所述的可缓存的硅片运送系统,其特征在于:所述活动块(26)通过一连接块(30)与驱动皮带(28)连接。

4.根据权利要求1所述的可缓存的硅片运送系统,其特征在于:所述驱动组件(34)包括电机、竖直设置的丝杆和通过螺纹套接与丝杆上的活动块,所述电机的输出轴与丝杆连接,所述活动块与立板(31)的外表面连接。

5.根据权利要求1所述的可缓存的硅片运送系统,其特征在于:若干个所述第二凸条(32)等间隔设置于立板(31)上部,使得当立板(31)位于初始位置时,第二凸条(32)均位于传输皮带(4)上方。

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