[实用新型]一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置

权利要求书

1.一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于，包括抛光机主体、自动制冷执行机构及抛光液供给机构，所述抛光机主体上表面设置有抛光层，所述抛光层上设置有陶瓷盘与pp卡头，所述陶瓷盘通过与pp卡头匹配安装实现陶瓷盘的限位固定，所述抛光机主体内部设置有冷却腔，所述冷却腔设置有冷却水进口、冷却水出口，所述冷却水进口、冷却水出口通过冷却水进水管、冷却水回水管与自动制冷执行机构连通，所述抛光液供给机构设置于抛光机主体正上方。

2.根据权利要求1所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述冷却腔中设置有若干环形波浪状的冷却通道。

3.根据权利要求2所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述冷却腔中设置有温度传感器，所述温度传感器与自动制冷执行机构通信连接，所述温度传感器预设阈值为18±1℃。

4.根据权利要求3所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述pp卡头上方设置有压杆。

5.根据权利要求4所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述抛光机主体内部设置有第一旋转电机，所述第一旋转电机与抛光层联动。

6.根据权利要求5所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述pp卡头内部设置有第二旋转电机，所述pp卡头、陶瓷盘与第二旋转电机实现联动。

7.根据权利要求6所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述陶瓷盘上设置有晶圆吸盘。

8.根据权利要求7所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述冷却水进水管、冷却水回水管上分别设置有电磁阀与流量计。

9.根据权利要求8所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述电磁阀、流量计与自动制冷执行机构通信连接。

10.根据权利要求9所述的一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，其特征在于：所述自动制冷执行机构中设置有温度预警器。